PS14 常温 ガスピューリファイヤー
PS14 シリーズ ガスピューリファイヤーは、特別な設備を必要とせずに室温で動作する小型でメンテナンスに手がかからないユニットです。PS14 ガスピューリファイヤーは、不純物を常温で除去するため、電源が無くても精製が可能です。
この精製システムには、2 種類の精製メディアがあります。
• H2O のみを除去 (MD タイプ)
• H2O、CO、CO2、H2、O2 の除去 (MN タイプ)
1 筒 (SC) または 2 筒 (DC) 構成から選択可能です。2 筒構成は、1 筒または両方の筒を同時に使用することができます。すべての PS14 精製システムは、再生するためにピューリファイヤーをインテグリスの工場へ送る必要があります。PS14 ピューリファイヤーの寿命については、お問い合わせください。
オプション:
• マスフローメータ
• 圧力計
• 高温時安全停止機能
• 0.03 µm 除粒子フィルター
仕様
モデル* | 使用可能なガス | 精製する不純物 | 筒当たりの最大流量 | 最高差圧 | |
---|---|---|---|---|---|
PS14-MD10-XX | N2, He, Ar, XCDA®, O2, H2 | H2O | 3,333 slpm (200 Nm3/hr) | < 0.1 MPa | |
PS14-MD18-XX | N2, He, Ar, XCDA®, O2, H2 | H2O | 16,667 slpm (1,000 Nm3/hr) | < 0.1 MPa | |
PS14-MD25-XX | N2, He, Ar, XCDA®, O2, H2 | H2O | 16,667 slpm (1,000 Nm3/hr) | < 0.1 MPa | |
PS14-MD38-XX | N2, He, Ar, XCDA®, O2, H2 | H2O | 83,333 slpm (5,000 Nm3/hr) | < 0.1 MPa | |
PS14-MN10-XX | N2, He, Ar, XCDA®, O2, H2 | H2O, CO, CO2, H2, O2 | 3,333 slpm (200 Nm3/hr) | < 0.1 MPa | |
PS14-MN18-XX | N2, He, Ar, XCDA®, O2, H2 | H2O, CO, CO2, H2, O2 | 16,667 slpm (1,000 Nm3/hr) | < 0.1 MPa | |
PS14-MN25-XX | N2, He, Ar, XCDA®, O2, H2 | H2O, CO, CO2, H2, O2 | 16,667 slpm (1,000 Nm3/hr) | < 0.1 MPa | |
PS14-MN38-XX | N2, He, Ar, XCDA®, O2, H2 | H2O, CO, CO2, H2, O2 | 83,333 slpm (5,000 Nm3/hr) | < 0.1 MPa | |
*XX = SC (1 筒) または DC (2 筒) ご注意:ピューリファイヤーは特定のガスに特化しています。決められたガス以外に使用しないでください。 |
寸法
モデル | 高さ (cm) | 幅 (cm) | 奥行 (cm) | 重さ (kg) |
---|---|---|---|---|
1 筒 (SC) | ||||
PS14-MD10-SC | 196 | 71 | 66 | 364 |
PS14-MD18-SC | 234 | 127 | 92 | 590 |
PS14-MD25-SC | 237 | 127 | 92 | 635 |
PS14-MD38-SC | 216 | 155 | 186 | 2,000 |
PS14-MN10-SC | 196 | 71 | 66 | 364 |
PS14-MN18-SC | 234 | 127 | 92 | 590 |
PS14-MN25-SC | 234 | 127 | 92 | 635 |
PS14-MN38-SC | 216 | 155 | 186 | 2,000 |
2 筒 (DC) | ||||
PS14-MD10-DC | 206 | 158 | 89 | 500 |
PS14-MD18-DC | 240 | 230 | 92 | 1,200 |
PS14-MD25-DC | 264 | 254 | 102 | 2,300 |
PS14-MD38-DC | 268 | 152 | 244 | 2,272 |
PS14-MN10-DC | 206 | 158 | 89 | 432 |
PS14-MN18-DC | 240 | 230 | 92 | 1,200 |
PS14-MN25-DC | 264 | 254 | 102 | 2,300 |
PS14-MN38-DC | 268 | 152 | 244 | 2,272 |