洗浄
高流量洗浄アプリケーションの清浄度とプロセス制御を維持できる確かなソリューション
インテグリスは、フラットパネルディスプレイの洗浄プロセスに使用される極めて反応性の高い強酸、酸化剤、溶剤、高温、高濃度の物質を安全に取り扱うための多数のソリューションを提供しています。 バルブ、継手、チューブ、パイプ、流量計、コンテナ、液体用フィルターなど、インテグリスのPFA流体制御コンポーネントの総合的なラインナップは、お客様のプロセス材料およびパラメータの再現性と一貫性を高め、歩留まりを向上し、コストを削減します。