ウェーハハンドリング
LEDチップ製造特有のウェーハハンドリング要件を知り尽くした、実証済みのテクノロジー
LEDチップ製造ならではのウェーハハンドリング要件に対応したインテグリスの多種多様なキャリアは、化学的に不活性な材料で作られており、ファブ環境内で標準厚および薄型のウェーハを安全に移動できます。
キャリアは複数のウェーハサイズ、材料、IDオプション、収容枚数を選択でき、カスタマイズ可能です。 ファブの物流を最適化するため、多くのウェーハキャリアIDオプションを利用できます。たとえば、ウェーハハンドリング識別用カラーIDタグ、カードホルダー、レーザーマーキング、ラベル、RFIDなどです。 50mmから300mmまで、お客様のニーズに合ったLEDウェーハハンドリングソリューションが揃っています。