ガス供給用キャビネットシステム
高純度ガス供給システム
インテグリスの高純度ガス用キャビネットシステムは、有毒ガスを大気中の常態より低圧にすることで、ガス漏れ事故の防止と安全な作業環境を実現します。
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TX-4™ガスキャビネットは、半導体向けの毒性の強いガスを安全に供給できるように設計されています。この製品のマニホールドは圧力損失が最小になるように設計されており、ホスフィン、アルシン、ゲルマンを負圧のガスソースから効率よく供給することができます。
ガス
- AsH3
- Ph3
- 負圧で保管、供給(SAGSタイプI)
- 半導体
- 成膜
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