InVue™ 濃度計 および 屈折計
プロセスに影響したり、中断することなく、高い精度と再現性で流体をリアルタイムにインラインで監視、測定
先進的な光学ベースのモニタリング機能と高性能な濃度計により、BEOL、FEOL、サブファブの薬液供給システムのプロセス効率が向上します。インテグリスのInVue™(インビュー) 濃度計、溶存酸素濃度計、屈折計は、インラインでリアルタイムに拡張性の高いモニタリングが可能です。
1製品を表示しています
InVue® (インビュー) 溶存酸素濃度計は、メッキ液アプリケーションで極めて低いレベルの溶存酸素を検出し、監視を行う光学ベースのモニタリングソリューションです。
チャンネル
- 1
- 溶存酸素
- 原位置
- 薬液供給
- ウェーハの洗浄・剥離
製品在庫(店舗別)
関連製品カテゴリー
比較のためにこの商品を追加する場合は、他の4つの商品のうち1つのチェックマークを外してください。
比較のためにこの商品を追加する場合は、他の2つの商品のうち1つのチェックマークを外してください。