150 mm工程内ウェーハキャリア
- ウェーハハンドリング
- ウェーハ出荷
仕様書
Dimensions
D1 Dimension | Pocket Spacing | Pocket Flat |
14.5 mm (0.57") | 4.8 mm (0.19") | 1.4 mm (0.05") |
Box Compatibility
Part Number | Compatible Boxes |
A194 Series | E90, E124, E160, E206, H3150 |
A190-60M-0215 | E124, E160, E206, H3150 |
A190-60MH-0215 | H3150 |
A182 Series | E90, E124, E160, E206, H3150 |
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型番 | エンドウォール構成 | プロファイル | 「H」バーエンドフランジ |
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A182-60M-0215 | 全壁 | ハイ | なし |
A182-60MB-0215 | 一体型、フランジ | ハイ | なし |
A182-60MBH-0215 | Solid, Flanges, Handle | ハイ | なし |
A182-60MC-0215 | 窓、フランジ | ハイ | なし |
A182-60MU-0215 | 「U」形状、フランジ | ハイ | あり |
A190-60M-0215 | 一体型、フランジ | ロー | なし |
A190-60MH-0215 | Solid, Flanges, Handle | ロー | なし |
A194-60MB-0215 | 一体型、フランジ | ハイ | あり |