A200 ウェーハ SMIF ポッド
- 汚染のないウェーハ搬送
- 環境的に安全なウェーハ搬送
- 自動化対応
仕様書
ベースの寸法 | 283 mm × 292 mm |
ポッドの高さ(上部ハンドルを除く) | 254 mm |
重さ (ウェーハ未収納時) | 2.59 kg |
重さ (シェル) | 1.62 kg |
重さ (ドア) | 0.87 kg |
注: SEMI® E19.4に準拠
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型番 | ドームの色 | ドームハウジング | Handle Color and Type | ウェーハリテーナーのタイプ | Dome Top Interface | ドアのタイプ | Cassette Interface | Cassette Hold Downs | Door Gasket |
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9700-4151-01 | 透明 | 第4世代 | Black, Ergo | 第4世代 | None | A200 | Wide guide | Clear PC (CS02) | PBT standard |
9700-4151-02 | 透明 | 第4世代 | Black, Ergo | 第4世代 | Top AK flange | A200 | Wide guide | Clear PC (CS02) | PBT standard |
9700-4152-14 | 透明 | 第4世代 | Black, Ergo | 第4世代 | None | A200 | Narrow guide | Clear PC (CS04) | PBT standard |
9700-4163-97 | アンバー | 第4世代 | Black, M205 | 第4世代 | None | A200 | Wide guide | Clear PC (CS02) | PBT standard |
9700-4249-08E | 透明 | 第4世代 | Yellow, Ergo | 第4世代 | Top AK flange | E200ドア | Step guide | CHD06 | PBT standard |
9700-4249-09E | 透明 | 第4世代 | Gray, Ergo | 第4世代 | Top AK flange | E200ドア | Step guide | CHD06 | PBT standard |
9700-4249-14E | 透明 | 第4世代 | Black, Ergo | 第4世代 | None | E200ドア | Step guide | CHD06 | PBT standard |
9700-4249-24E | 透明 | 第4世代 | Red, Ergo | 第4世代 | None | E200ドア | Step guide | CHD06 | PBT standard |
9700-4249-24G4 | 透明 | 第4世代 | Red, Ergo | 第4世代 | None | A200 | Step guide | CHD06 | PBT high durometer |
9700-5330-01 | 透明 | 第4世代 | Black, Ergo | 第4世代 | None | A200 | Wide guide | CHD04 | PBT standard |
9700-5330-49MC | 透明 | 第4世代 | Black, Ergo M | 第4世代 | Top AK flange | A200 | Wide guide | CHD04 | PBT standard |
9700-5332-01 | 透明 | 第4世代 | Black, Ergo | 第4世代 | None | A200 | Narrow guide | CHD04 | PBT standard |
9700-5332-11 | 透明 | 第4世代 | Red, Ergo | 第4世代 | None | A200 | Narrow guide | CHD04 | PBT standard |
9700-5333-01E | 透明 | 第4世代 | Black, Ergo | 第4世代 | None | E200ドア | Narrow guide | CHD04 | PBT standard |
9700-5333-02E | 透明 | 第4世代 | Black, Ergo | 第4世代 | None | E200ドア | Wide guide | CHD04 | PBT standard |
9700-5333-31D | 透明 | 第4世代 | Black, Ergo | N/A | Black carrying handle | A200 door, enhanced reliability | Narrow guide | None | PBT standard |
9700-5333-51 | 透明 | 第4世代 | Black, Ergo | 第4世代 | None | A200 door, no lubricant | Narrow guide | CHD04 | PBT standard |
9700-5464-07T | 透明 | 第4世代 | Black, Ergo | 第4世代 | None | E200ドア | Special guide | CHD04 | PBT standard |
9700-5700-01 | 透明 | 第5世代 | Black, pivot pistol grip | 第5世代 | None | A200 | Narrow guide | CHD05 | PBT standard |
9700-5700-18 | 透明 | 第5世代 | Black, pivot pistol grip | 第5世代 | None | A200 | Narrow guide | None | PBT standard |
9700-5700-28 | 透明 | 第5世代 | Black, pivot pistol grip | 第5世代 | None | A200 | Narrow guide | None | PBT standard |
9700-5700-98 | 透明 | 第5世代 | Black, pivot pistol grip | 第5世代 | None | A200 | Narrow guide | None | PBT standard |
9700-5719-01 | 透明 | Gen IV FE | Black, Ergo | 第4世代 | None | A200 FE door | Wide guide | CHD04 | PBT standard |
9700-5819-01G4 | 透明 | Gen IV FE | Black, Ergo | 第4世代 | None | A200 door with FE hole | Narrow guide | CHD04 | PBT high durometer |
9700-5819-02G4 | 透明 | Gen IV FE | Red, Ergo | 第4世代 | None | A200 door with FE hole | Narrow guide | CHD04 | PBT high durometer |
9700-9655-02 | 透明 | Gen IV FE | Red, Ergo | 第4世代 | None | A200 FE door | Narrow guide | Clear PC (CS04) | PBT standard |
9700-9666-01 | 緑 | 第4世代 | Red, Ergo | 第4世代 | None | A200 door with BE hole | Narrow guide | Clear PC (CS04) | PBT standard |