静電チャック
インテグリスの静電チャックソリューションは、革新的なコーティング技術で非常に平坦な面を形成することにより、金属汚染の防止、パーティクルの低減、数百万サイクルに及ぶ耐久性を実現します。
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カスタマイズされた修理、再構築、再設計サービスにより、性能がいっそう向上し、コストオブオーナーシップが削減します。
産業
- 半導体
- イオン注入
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