A300 FOUP
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- クリーンで安全な 300 mm ウェーハの搬送とハンドリングを可能にする Front Opening Unified Pod (FOUP) のプラットフォーム
仕様書
25 枚収容 | 13 枚収容 | ||
構成材料 | シェル、ドアハウジング、ドアパネル | 超高純度ポリカーボネート (PC)、カーボン充填バリア材 | カーボン充填バリア材 |
ウェーハ サポートおよびウェーハに接触する部材 (シェル、ドアハウジング、ドアコンポーネント) | カーボン充填 PC、カーボン充填バリア材 | カーボン充填バリア材 | |
ドア用ガスケット | 熱可塑性エラストマー | ||
寸法 | 幅 | 427 mm | |
奥行 | 356 mm | ||
高さ | 338 mm | ||
重さ | ウェーハ未収容時 | 5.4 kg | < 6 kg |
ウェーハ収容時 | 8.2 kg | ウェーハの厚さにより異なる | |
ウェーハ間隔 | 10 mm | 20 mm | |
オプション構成およびアクセサリ | |||
25 枚収容 | 13 枚収容 | ||
シェルおよびドアのカラーオプション | アンバー、青、透明、緑、赤 黒 (ESD シェルのみ) | 透明 (PC)、黒 (EBM) | |
パージオプション | フロント/リア:標準パージ リア:アドバンスド ディフューザー | フロント/リア:標準パージ | |
識別用オプション | インフォパッド:取り付け位置を指定可能 | インフォパッド:取り付け位置を指定可能 | |
ID オプション | カラーハンドル:アンバー、黒、青、緑、赤、白、黄 カラーカードホルダー:アンバー、緑、白 バーコードと英数字ラベル リード/ライト機能付き RFID タグ |
ソフトウェアのバージョンアップ情報の送付が選択されました