Chambergard™ ファスト ベント ディフューザー
- 粒子を巻き上げたりウェーハに粒子を付着させることなく、速やかにチャンバー内を大気圧にベント
仕様書
材質 | ディフューザーエレメント: 焼結ニッケル |
ハウジング: 316L ステンレススチール | |
内面粗度: ≤ 32 μin Ra | |
性能 | 粒子清浄度: 0.01 μm以上の粒子が 0.03個/L以下、定格流量 ≥ 0.003 μm |
除粒子径: ≥ 0.0015 μm | |
信頼性: 10万サイクル (@最大許容入口側圧力、25°C) | |
接続 | カタログをご確認ください |
使用条件 | カタログをご確認ください |
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型番 | O-リングサイズ | O-リングの溝の外径 | 出口側接続タイプ | O-リングの溝の内径 | O-リングの溝の深さ | 使用条件: 最高入口側圧力(出口側真空時) | 使用条件: 最大許容差圧 | 使用条件: 最高使用温度 | 入口側接続タイプ |
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SI2P134R5 | なし | なし | インライン | なし | なし | 0.5 MPa (75 psi) | 0.24 MPa (35 psi) | O-リングありの場合100°C、O-リングなしの場合400°C | 6.35 mm (1/4") VCR®互換オスガスケットシール継手 |
WG3D16TR2 | 2-117 | 26.4 mm (1.03") | ISO NW-16、標準ISOバルクヘッドクランプ互換のバルクヘッドマウント | 20.3 mm (0.79") | 1.9 mm (0.07") | 0.7 MPa (100 psi) | 0.8 MPa (115 psi) | O-リングありの場合100°C、O-リングなしの場合400°C | 6.35 mm (1/4") VCR®互換オスガスケットシール継手 |
WG3D228R2 | 2-117 | 26.4 mm (1.03") | ISO NW-16、標準ISOバルクヘッドクランプ互換のバルクヘッドマウント | 20.3 mm (0.79") | 1.9 mm (0.07") | 0.7 MPa (100 psi) | 0.8 MPa (115 psi) | O-リングありの場合100°C、O-リングなしの場合400°C | 6.35 mm (1/4") VCR®互換オス/メスガスケットシール継手または突き合わせ溶着継手 |
WG3D25LR2 | 2-123 | 35.9 mm (1.41") | ISO NW-25、標準ISOバルクヘッドクランプ互換のバルクヘッドマウント | 29.8 mm (1.17") | 1.9 mm (0.07") | 0.7 MPa (100 psi) | 0.8 MPa (115 psi) | O-リングありの場合100°C、O-リングなしの場合400°C | 6.35 mm (1/4") VCR®互換オスガスケットシール継手 |
WG3D25SR2 | 2-123 | 35.9 mm (1.41") | ISO NW-25、標準ISOバルクヘッドクランプ互換のバルクヘッドマウント | 29.8 mm (1.17") | 1.9 mm (0.07") | 0.7 MPa (100 psi) | 0.8 MPa (115 psi) | O-リングありの場合100°C、O-リングなしの場合400°C | 6.35 mm (1/4") VCR®互換オスガスケットシール継手 |
WG3D3LBW2 | なし | なし | なし | なし | なし | 0.7 MPa (100 psi) | 0.8 MPa (115 psi) | O-リングありの場合100°C、O-リングなしの場合400°C | 20 mm突き合わせ溶着チューブ出し |
WG3D401R2 | 2-246 | 114.3 mm (4.50") | ISO NW-100、ボルト止め | 122.4 mm (4.81") | 2.6 mm (0.10") | 0.25 MPa (35 psi) | 0.35 MPa (50 psi) | O-リングありの場合100°C、O-リングなしの場合400°C | 6.35 mm (1/4") VCR®互換オスガスケットシール継手 |
WG3D40DR2 | 2-224 | 52.1 mm (2.05") | ISO NW-40、標準ISOバルクヘッドクランプ互換のバルクヘッドマウント | 44 mm (1.73") | 2.6 mm (0.10") | 0.3 MPa (45 psi) | 0.4 MPa (60 psi) | O-リングありの場合100°C、O-リングなしの場合400°C | 6.35 mm (1/4") VCR®互換オスガスケットシール継手 |
WG3D40TR2 | 2-224 | 52.1 mm (2.05") | ISO NW-40、標準ISOバルクヘッドクランプ互換のバルクヘッドマウント | 44 mm (1.73") | 2.6 mm (0.10") | 0.7 MPa (100 psi) | 0.8 MPa (115 psi) | O-リングありの場合100°C、O-リングなしの場合400°C | 6.35 mm (1/4") VCR®互換オスガスケットシール継手 |
WG3D50DR2 | 2-229 | 67.9 mm (2.67") | ISO NW-50、標準ISOバルクヘッドクランプ互換のバルクヘッドマウント | 59.9 mm (2.35") | 2.6 mm (0.10") | 0.2 MPa (30 psi) | 0.3 MPa (45 psi) | O-リングありの場合100°C、O-リングなしの場合400°C | 6.35 mm (1/4") VCR®互換オスガスケットシール継手 |