Chambergard™ FV50D XL ガスディフューザー
- 粒子を巻き上げたりウェーハに粒子を付着させることなく、速やかにチャンバー内を大気圧にベント
仕様書
材質 | フィルター: ニッケル |
ハウジング: 316L ステンレススチール |
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内面粗度: < 32 µin Ra | |
O-リング | 材質: フッ素ゴム |
サイズ: AS568-229 | |
O-リング溝の内径: 59.9 mm | |
O-リング溝の外径: 67.9 mm | |
O-リング溝の深さ: 2.6 mm | |
接続 | 一次側: 6.35 mm (1/4") ガスケットシールオス (VCR® オス互換) |
二次側: ISO NW-50 バルクヘッド準拠 | |
粒子清浄度 | 0.01 µm 以上の粒子が 0.03 個/L 以下 (定格流量) |
除粒子径 | > 0.0015 µm |
使用条件 | 最大許容圧力 (二次側真空時): 0.4 MPa |
最大許容差圧: 0.5 MPa | |
最高使用温度: 100 °C (O-リングあり)、400 °C (O-リングなし) | |
製品保証 | 2 年* |
* 出荷日起算 |
ソフトウェアのバージョンアップ情報の送付が選択されました
型番 | 製品タイプ |
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CG2NDD050R2 | Chambergard™ fast vent diffuser |