GateKeeper® SXシリーズ ガス精製システム
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- 有機金属気相成長法 (MOCVD)
- 原子層堆積 (ALD)
- 低温エピタキシー (LTE)
- アンモニアガスを必要とするその他の用途
仕様書
モデル | GPS90SX | GPS100SX | GPS120SX |
精製対象ガス: | アンモニア(NH3) | ||
メディア: | 無機物 | ||
除去対象不純物: | 水分(H2O): < 1 ppb | ||
二酸化炭素(CO2): < 1 ppb | |||
酸素(O2): < 1 ppb | |||
使用圧力範囲: | 0.55 – 1.72 MPa | ||
圧力損失: | < 103.4 kPa (入口圧力が0.69 MPaで最大流量時) | ||
最高使用流量: | 90 N•m3/hr (1397 slm) | 100 N•m3/hr (1553 slm) | 120 N•m3/hr (1863 slm) |
使用ガス温度: | 15° – 40°C | ||
ろ過精度: | ISO®クラス1 ( 0.1 µmの粒子が 10 個/m3 以下、0.2 µmの粒子が 2個/m3 以下) | ||
リークレート: | 1 × 10-9 atm cc/sec |
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