GateKeeper® Z3シリーズ ガス精製システム
インテグリスのアカウント担当にお問い合わせいただくか、
- フォトリソグラフィ
- FOUPパージ
- ストッカーパージ
- XCDAパージガスを必要とするその他の用途
仕様書
モデル | GPS400Z3 | GPS500Z3 | GPS600Z3 |
精製するガス: | クリーンドライエア(CDA) | ||
メディアタイプ: | 無機物 | ||
除去する汚染物質: | 揮発性酸 <1 ppt | ||
揮発性塩基 <10 ppt | |||
難燃性化合物 <1 ppt | |||
凝縮性有機物 <1 ppt | |||
水分 <100 ppt | |||
使用圧力範囲: | 0.551 - 1.723 MPa | ||
圧力損失: | < 100 kPa @入口圧力 0.79 MPa、最大流量 | ||
最大流量: | 400 Nm3/hr (6211 SLM) | 500 Nm3/hr (7764 SLM) | 600 Nm3/hr (9317 SLM) |
使用ガス温度: | 15°C–40°C | ||
出口での粒子ろ過(ISOクラス1) | < 10個/m3 @ 0.1 μm | ||
< 2個/m3 @ 0.2 μm | |||
リークレート: | 1 × 10-9 atm cc/sec |
ソフトウェアのバージョンアップ情報の送付が選択されました