VaporSorb™ FAC ケミカルフィルター
インテグリスのアカウント担当にお問い合わせいただくか、
サブ22 nmノードの先端半導体工場の環境に優れた保護を提供し、様々なエアハンドリングユニットにインストールが可能です。
- メイクアップエア (MUA)
- リターンエアハンドラー (RAH)
仕様書
ケミカル容量*
インテグリスは、フィルターの AMC 容量をチャレンジ濃度と時間の積で表し、その単位は、ppb-h (10 億分の 1 時間; ppb = エア 1 mol あたり 10 - 9 mol ) です。その数値と製品寿命として設定する除去効率、そしてオンサイトで測定した AMC 濃度により、寿命を時間単位で計算することができます。
主なサイズ | 242412 | 241212 | ||
エア流量 | 3398 m3/h | 1699 m3/h | ||
面速 | 2.54 m/s | 2.54 m/s | ||
高さ | 592 mm | 287 mm | ||
幅 | 592 mm | 592 mm | ||
奥行 | 287 mm | 287 mm | ||
重さ | 14.5 kg | 9.1 kg | ||
圧力損失 | 110 Pa @ 2.54 m/s | 110 Pa @ 2.54 m/s |
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