Vaporsorb™CMP ケミカルフィルター
- CMP
- 磁気ヘッド - CMP
仕様書
材質 | |||
ケース: | 透明陽極酸化アルミ | ||
メディア: | 高性能吸着剤を特定用途向けにブレンド | ||
カバースクリーン: | 透明陽極酸化アルミおよびポリエステル | ||
ガスケット: | ポリエチレン | ||
物理的性能 | |||
パラメータ | 条件 | 目標値 | |
気流速度分布: | フィルター二次側0.1 mの9点 @ 面速度0.5 m/s | 均一な分布、バラツキはほぼ無し | |
温湿度ばらつき: | 30 – 70% RH | 製品寿命を通じての劣化 < 10% | |
18°C – 35°C | |||
バーティクルの発生: | 数個/m3 | ISO 5 準拠 | |
金属性汚染物質: | 未検出 | < 1 ng/L (空気中) | |
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