B80シリーズ マスクパッケージ
- マスクのハンドリング
- ペリクル付きレチクルのハンドリング
型番 | マスクサイズ | ボックス材質 | キャリア外形寸法 | ペリクル | マスク厚 |
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B8070-0201 | 178 mm sq. (7" sq.) | ポリカーボネート(透明) | 234 mm x 246 mm x 25 mm (9.2" x 9.7" x 1.0") | なし | 6.4 mm (0.25") |
B8080-0100 | 203 mm sq. (8" sq.) | ポリカーボネート(透明) | 234 mm x 246 mm x 25 mm (9.2" x 9.7" x 1.0") | なし | 2.3 mm (0.09") |