インテグリスの拡張性のある製品群には、COOを削減し、欠陥率を低く維持する高性能スラリーもあります。
インテグリスは、SiC (シリコンカーバイド)、サファイア、GaN (窒化ガリウム)、ダイヤモンド (ラップまたは機械研磨) などの超硬質表面材料をエピレディ状態に研磨するための CMP スラリーの設計と製造においてマーケットをリードしています。特殊配合薬品とエンジニアード粒子の相乗効果は、インテグリスの CMP ソリューションを実現する重要なテクノロジーです。インテグリスの幅広いスラリー製品群は、バッチ式および枚葉式ウェーハ用 CMP 装置に最適化されており、大量生産を実現するための高い均一性と容易な拡張性を多様なウェーハに提供します。
強い開発努力に、技術力と著名な科学者や技術者チームを組み合わせることで、お客様の非常に複雑な平坦化と表面処理の課題を解決するお手伝いをします。インテグリスの研究開発と製造チームは、BKM (Best Known Method) を使用して、特定のアプリケーション向けにスラリーをカスタムメイドすることもできます。インテグリスが独自に開発したプロセスには、SiC 基板を製造するための超高速プロセス、表面下のダメージがないサファイア窓、超精密な銅の研磨などがあります。