CR4シリーズ手動式バルブ、1/4"オリフィス、二方弁、マルチターン
- 構成によっては不可能な場合があります。複数の特注機能が必要な場合は、インテグリスまでお問い合わせください。
- フッ素系界面活性剤を含む流体のハンドリングで「スペースセーバー」ポート接続を使用する場合は、インテグリスまでお問い合わせください。
- 標準でピラーナット、インサート、ゲージリングが付属します。
- 高純度の腐食性薬液のハンドリング
- あらゆる半導体のウェーハの洗浄・剥離(WEC)プロセス用薬液
- 薬液ラインサイズ: 9.53 mm (3/8")以下
仕様書
過酷な環境への耐久性を備えたバルブ
- 金属部品の露出がないCR4シリーズバルブは完全にシールされ、過酷な薬液環境から保護
- マニホールドをカスタマイズして薬液供給システムに組み込み可能なモジュール型設計
- インテグリスの独立型Galtek® SGシリーズバルブやDymension®バルブマニホールドと同様の設置面積で設計されているため、既設の装置への後付けや交換が容易
寸法 | ||||
ポート接続 | 流量係数CV | 流量係数KV | A | B |
6.35 mm (1/4")フレアテック | 0.29 | 4.2 | 85.3 mm (3.36") | 13.0 mm (0.51") |
1/4 NPTメス | 0.84 | 12.0 | 69.8 mm (2.75") | 13.0 mm (0.51") |
6.35 mm (1/4")スーパー300タイプピラー継手 | 0.29 | 4.2 | 65.3 mm (2.57") | 13.0 mm (0.51") |
6.35 mm (1/4")プライムロック | 0.34 | 4.9 | 80.8 mm (3.18") | 13.0 mm (0.51") |
6.35 mm (1/4")ピュアボンド | 0.84 | 12.0 | 68.1 mm (2.68") | 13.0 mm (0.51") |
9.53 mm (3/8")フレアテック | 0.84 | 12.0 | 88.9 mm (3.50") | 13.0 mm (0.51") |
9.53 mm (3/8")スーパー300タイプピラー継手 | 0.84 | 12.0 | 73.2 mm (2.88") | 13.0 mm (0.51") |
9.53 mm (3/8")プライムロック | 0.84 | 12.0 | 80.8 mm (3.18") | 15.5 mm (0.61") |
材質 | |||
すべての接液部 | PFA | ||
外部アクチュエータ部品 | PVDF、バイトン® | ||
内部アクチュエータ部品 | PVDF、SST、バイトン | ||
取り付け用ベース | PVDF | ||
使用条件 | |||
最高使用圧力 | 21°C | 入口: 91.3 - 552 kPa | |
出口: 91.3 - 552 kPa | |||
160°C | 入口: 276 kPa | ||
出口: 138 kPa* | |||
温度範囲 | |||
周囲温度 | 23 - 50°C | ||
流体温度 | 21 - 160°C* | ||
適合規格 | RoHs、WEE |
*実際のバルブ性能は圧力と温度によって異なります。性能データの実際の数値を参照してください。
ソフトウェアのバージョンアップ情報の送付が選択されました
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01-1005286
Safety lock out for use with CR4 and CR8 Series multi-turn valves.
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01-003444
Mounting base for use with all 1/4" 2-way CR4 Series and SG Series valves
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CR4-2M-RKIT
Repair kit for 1/4" 2-way CR4 Series manual, multi-turn valves
型番 | 入口 | 出口 | パネルマウント機構 | オプション |
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CR4-2M-4F | 6.35 mm (1/4") Flaretek® | 6.35 mm (1/4") Flaretek® | なし | PVDF Flaretek®ナット |
CR4-2M-4F-3 | 6.35 mm (1/4") Flaretek® | 6.35 mm (1/4") Flaretek® | なし | PFA Flaretek®ナット |
CR4-2M-4F-6 | 6.35 mm (1/4") Flaretek® | 6.35 mm (1/4") Flaretek® | なし | CPFA Flaretek®ナット |
CR4-2M-4F-II | 6.35 mm (1/4") Flaretek® | 6.35 mm (1/4") Flaretek® | なし | PFA FlareLock® IIナット |
CR4-2M-4K | 6.35 mm (1/4") PrimeLock® | 6.35 mm (1/4") PrimeLock® | なし | N/A |
CR4-2M-4KV | 6.35 mm (1/4") PrimeLock® | 6.35 mm (1/4") PrimeLock®「スペースセーバー」 | なし | N/A |
CR4-2M-4N | 1/4 NPTメス | 1/4 NPTメス | なし | N/A |
CR4-2M-4P | 1/4" PureBond®パイプ | 1/4" PureBond®パイプ | なし | N/A |
CR4-2M-4PS3-N | 6.35 mm (1/4") スーパー300タイプPillar® | 6.35 mm (1/4")スーパー300タイプPillar® | なし | スーパー300タイプPillar®ナット付き |
CR4-2M-4SI-6 | 6.35 mm (1/4") Flaretek®「スペースセーバー」 | 6.35 mm (1/4") Flaretek® | なし | CPFA Flaretek®ナット |
CR4-2M-4SI-II | 6.35 mm (1/4") Flaretek®「スペースセーバー」 | 6.35 mm (1/4") Flaretek® | なし | PFA FlareLock® IIナット |
CR4-2M-4SO | 6.35 mm (1/4") Flaretek® | 6.35 mm (1/4") Flaretek®「スペースセーバー」 | なし | PVDF Flaretek®ナット |
CR4-2M-4SO-3 | 6.35 mm (1/4") Flaretek® | 6.35 mm (1/4") Flaretek®「スペースセーバー」 | なし | PFA Flaretek®ナット |
CR4-2M-4SO-6 | 6.35 mm (1/4") Flaretek® | 6.35 mm (1/4") Flaretek®「スペースセーバー」 | なし | CPFA Flaretek®ナット |
CR4-2M-4SO-II | 6.35 mm (1/4") Flaretek® | 6.35 mm (1/4") Flaretek®「スペースセーバー」 | なし | PFA FlareLock® IIナット |
CR4-2M-4VK | 6.35 mm (1/4") PrimeLock®「スペースセーバー」 | 6.35 mm (1/4") PrimeLock® | なし | N/A |
CR4-2M-4VV | 6.35 mm (1/4") PrimeLock®「スペースセーバー」 | 6.35 mm (1/4") PrimeLock®「スペースセーバー」 | なし | N/A |
CR4-2M-6F | 9.52 mm (3/8") Flaretek® | 9.52 mm (3/8") Flaretek® | なし | PVDF Flaretek®ナット |
CR4-2M-6F-3 | 9.52 mm (3/8") Flaretek® | 9.52 mm (3/8") Flaretek® | なし | PFA Flaretek®ナット |
CR4-2M-6F-6 | 9.52 mm (3/8") Flaretek® | 9.52 mm (3/8") Flaretek® | なし | CPFA Flaretek®ナット |
CR4-2M-6K | 9.52 mm (3/8") PrimeLock® | 9.52 mm (3/8") PrimeLock® | なし | N/A |
CR4-2M-6PS3-N | 9.52 mm (3/8") スーパー300タイプPillar® | 9.52 mm (3/8")スーパー300タイプPillar® | なし | スーパー300タイプPillar®ナット付き |
CR4-2M-6SI | 9.52 mm (3/8") Flaretek®「スペースセーバー」 | 9.52 mm (3/8") Flaretek® | なし | PVDF Flaretek®ナット |
CR4-2M-6SI-6 | 9.52 mm (3/8") Flaretek®「スペースセーバー」 | 9.52 mm (3/8") Flaretek® | なし | CPFA Flaretek®ナット |
CR4-2M-6SI-II | 9.52 mm (3/8") Flaretek®「スペースセーバー」 | 9.52 mm (3/8") Flaretek® | なし | PFA FlareLock® IIナット |
CR4-2M-6SO | 9.52 mm (3/8") Flaretek® | 9.52 mm (3/8") Flaretek®「スペースセーバー」 | なし | PVDF Flaretek®ナット |
CR4-2M-6SO-6 | 9.52 mm (3/8") Flaretek® | 9.52 mm (3/8") Flaretek®「スペースセーバー」 | なし | CPFA Flaretek®ナット |
CR4-2M-6SO-II | 9.52 mm (3/8") Flaretek® | 9.52 mm (3/8") Flaretek®「スペースセーバー」 | なし | PFA FlareLock® IIナット |
CR4-2M-6VK | 9.52 mm (3/8") PrimeLock®「スペースセーバー」 | 9.52 mm (3/8") PrimeLock® | なし | N/A |
CR4-2M-6VV | 9.52 mm (3/8") PrimeLock®「スペースセーバー」 | 9.52 mm (3/8") PrimeLock®「スペースセーバー」 | なし | N/A |
CR4-2PM-4F | 6.35 mm (1/4") Flaretek® | 6.35 mm (1/4") Flaretek® | あり | PVDF Flaretek®ナット |
CR4-2PM-4F-3 | 6.35 mm (1/4") Flaretek® | 6.35 mm (1/4") Flaretek® | あり | PFA Flaretek®ナット |
CR4-2PM-4F-6 | 6.35 mm (1/4") Flaretek® | 6.35 mm (1/4") Flaretek® | あり | CPFA Flaretek®ナット |
CR4-2PM-4F-II | 6.35 mm (1/4") Flaretek® | 6.35 mm (1/4") Flaretek® | あり | PFA FlareLock® IIナット |
CR4-2PM-4K | 6.35 mm (1/4") PrimeLock® | 6.35 mm (1/4") PrimeLock® | あり | N/A |
CR4-2PM-4KV | 6.35 mm (1/4") PrimeLock® | 6.35 mm (1/4") PrimeLock®「スペースセーバー」 | あり | N/A |
CR4-2PM-4SI | 6.35 mm (1/4") Flaretek®「スペースセーバー」 | 6.35 mm (1/4") Flaretek® | あり | N/A |
CR4-2PM-4SI-3 | 6.35 mm (1/4") Flaretek®「スペースセーバー」 | 6.35 mm (1/4") Flaretek® | あり | PFA Flaretek®ナット |
CR4-2PM-4SI-6 | 6.35 mm (1/4") Flaretek®「スペースセーバー」 | 6.35 mm (1/4") Flaretek® | あり | CPFA Flaretek®ナット |
CR4-2PM-4SI-II | 6.35 mm (1/4") Flaretek®「スペースセーバー」 | 6.35 mm (1/4") Flaretek® | あり | PFA FlareLock® IIナット |
CR4-2PM-4SO | 6.35 mm (1/4") Flaretek® | 6.35 mm (1/4") Flaretek®「スペースセーバー」 | あり | PVDF Flaretek®ナット |
CR4-2PM-4SO-3 | 6.35 mm (1/4") Flaretek® | 6.35 mm (1/4") Flaretek®「スペースセーバー」 | あり | PFA Flaretek®ナット |
CR4-2PM-4SO-6 | 6.35 mm (1/4") Flaretek® | 6.35 mm (1/4") Flaretek®「スペースセーバー」 | あり | CPFA Flaretek®ナット |
CR4-2PM-4SO-II | 6.35 mm (1/4") Flaretek® | 6.35 mm (1/4") Flaretek®「スペースセーバー」 | あり | PFA FlareLock® IIナット |
CR4-2PM-4VK | 6.35 mm (1/4") PrimeLock®「スペースセーバー」 | 6.35 mm (1/4") PrimeLock® | あり | N/A |
CR4-2PM-6F-3 | 9.52 mm (3/8") Flaretek® | 9.52 mm (3/8") Flaretek® | あり | PFA Flaretek®ナット |
CR4-2PM-6F-6 | 9.52 mm (3/8") Flaretek® | 9.52 mm (3/8") Flaretek® | あり | CPFA Flaretek®ナット |
CR4-2PM-6F-II | 9.52 mm (3/8") Flaretek® | 9.52 mm (3/8") Flaretek® | あり | PFA FlareLock® IIナット |
CR4-2PM-6K | 9.52 mm (3/8") PrimeLock® | 9.52 mm (3/8") PrimeLock® | あり | N/A |
CR4-2PM-6KV | 9.52 mm (3/8") PrimeLock® | 9.52 mm (3/8") PrimeLock®「スペースセーバー」 | あり | N/A |
CR4-2PM-6SI | 9.52 mm (3/8") Flaretek®「スペースセーバー」 | 9.52 mm (3/8") Flaretek® | あり | PVDF Flaretek®ナット |
CR4-2PM-6SI-6 | 9.52 mm (3/8") Flaretek®「スペースセーバー」 | 9.52 mm (3/8") Flaretek® | あり | CPFA Flaretek®ナット |
CR4-2PM-6SI-II | 9.52 mm (3/8") Flaretek®「スペースセーバー」 | 9.52 mm (3/8") Flaretek® | あり | PFA FlareLock® IIナット |
CR4-2PM-6SO | 9.52 mm (3/8") Flaretek® | 9.52 mm (3/8") Flaretek®「スペースセーバー」 | あり | PVDF Flaretek®ナット |
CR4-2PM-6SO-3 | 9.52 mm (3/8") Flaretek® | 9.52 mm (3/8") Flaretek®「スペースセーバー」 | あり | PFA Flaretek®ナット |
CR4-2PM-6SO-6 | 9.52 mm (3/8") Flaretek® | 9.52 mm (3/8") Flaretek®「スペースセーバー」 | あり | CPFA Flaretek®ナット |
CR4-2PM-6SO-II | 9.52 mm (3/8") Flaretek® | 9.52 mm (3/8") Flaretek®「スペースセーバー」 | あり | PFA FlareLock® IIナット |
CR4-2PM-6VK | 9.52 mm (3/8") PrimeLock®「スペースセーバー」 | 9.52 mm (3/8") PrimeLock® | あり | N/A |
CR4-2PM-6VV | 9.52 mm (3/8") PrimeLock®「スペースセーバー」 | 9.52 mm (3/8") PrimeLock®「スペースセーバー」 | あり | N/A |
- 構成によっては不可能な場合があります。複数の特注機能が必要な場合は、インテグリスまでお問い合わせください。
- フッ素系界面活性剤を含む流体のハンドリングで「スペースセーバー」ポート接続を使用する場合は、インテグリスまでお問い合わせください。
- 標準でピラーナット、インサート、ゲージリングが付属します。