CR4シリーズ空圧式バルブ、1/4"オリフィス、三方弁、チューブ
- 標準でピラーナット、インサート、ゲージリングが付属します。
- 高純度の腐食性薬液のハンドリング
- あらゆる半導体のウェーハの洗浄・剥離(WEC)プロセス用薬液
- 薬液ラインサイズ: 9.53 mm (3/8")以下
仕様書
センサー(オプション)の寸法情報(上の4番目の図面に記載)
バルブの開/閉位置を電気的に監視するポジションセンサーオプションをご用意しています。
注: ポジションセンサーインジケータを使用するにはバルブに取り付けるOmron®センサー(-OM)が必要です。さらに、オムロンのポジションセンサーインジケータ(EE-SX771RまたはEE-SX771A、別売)も必要となります。
過酷な環境への耐久性を備えたバルブ
- 金属部品の露出がないCR4シリーズバルブは完全にシールされ、過酷な薬液環境から保護
- マニホールドをカスタマイズして薬液供給システムに組み込み可能なモジュール型設計
- インテグリスの独立型Galtek® SGシリーズバルブやDymension®バルブマニホールドと同様の設置面積で設計されているため、既設の装置への後付けや交換が容易
ポート接続 | 流量係数CV | 流量係数KV | 寸法 | ||
A | B | C | |||
1/4 NPTメス | 0.6 | 8.6 | 49.8 mm (1.96") | 45.5 mm (1.79") | 24.9 mm (0.98") |
6.35 mm (1/4")フレアテック* | 0.3 | 4.0 | 76.0 mm (2.99") | 58.4 mm (2.30") | 38.1 mm (1.50") |
6.35 mm (1/4")ピュアボンド | 0.6 | 8.6 | 76.2 mm (3.00") | 58.7 mm (2.31") | 38.1 mm (1.50") |
6.35 mm (1/4")スーパー300タイプピラー継手 | 0.3 | 4.0 | 59.4 mm (2.34") | 50.3 mm (1.98") | 29.7 mm (1.17") |
9.53 mm (3/8")フレアテック* | 0.6 | 8.6 | 78.0 mm (3.07") | 59.4 mm (2.34") | 39.1 mm (1.54") |
9.53 mm (3/8")スーパー300タイプピラー継手 | 0.6 | 8.6 | 72.4 mm (2.85") | 56.6 mm (2.23") | 36.3 mm (1.43") |
*PrimeLock®またはフレアテック「スペースセーバー」のポート接続もご用意しています。製品型番については、インテグリスまでお問い合わせください。
材質: | すべての接液部 | PTFE、PFA | ||
外部アクチュエータ部品 | PVDF、バイトン® | |||
内部アクチュエータ部品 | PVDF、SST、バイトン | |||
取り付け用ベース | PVDF | |||
使用条件: | 最高使用圧力 | 21°C | すべてのポート | 552 kPa1 |
130°C | 共通ポート | 276 kPa1 | ||
130°C | ノーマリーオープン/クローズのポート | 207 kPa1,2 | ||
エア供給圧 | 21°C | 414 - 552 kPa1 | ||
130°C | 414 - 483 kPa1 | |||
温度範囲 | 周囲温度 | 21 - 50°C | ||
流体温度 | 21 - 130°C1 | |||
エア供給ポート: | 6.35 mm (1/4")チューブ出し | |||
環境に関する適合規格: | RoHs、WEE |
1実際のバルブ性能は圧力と温度によって異なります。性能データの実際の数値を参照してください。
2メディア温度が100°C以上の場合は、温度が30°C以下に低下したときにパイロット圧を抜くか、入れ直すことを推奨します。
ソフトウェアのバージョンアップ情報の送付が選択されました
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01-006010
Mounting base for use with all 1/4" 3-way CR4 Series and SG Series valves
型番 | オプション | ポート接続 |
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CR4-3C-4F | PVDF Flaretek®ナット | 6.35 mm (1/4") Flaretek® |
CR4-3C-4F-3 | PFA Flaretek®ナット | 6.35 mm (1/4") Flaretek® |
CR4-3C-4F-II | PFA FlareLock® IIナット | 6.35 mm (1/4") Flaretek® |
CR4-3C-4F-OM | オムロンポジションセンサー | 6.35 mm (1/4") Flaretek® |
CR4-3C-4N | N/A | 6.35 mm (1/4") NPTメス |
CR4-3C-4N-OM | オムロンポジションセンサー | 6.35 mm (1/4") NPTメス |
CR4-3C-4P-OM | オムロンポジションセンサー | 6.35 mm (1/4") PureBond®パイプ |
CR4-3C-4PS3-N | スーパー300タイプPillar®ナット付き | 6.35 mm (1/4") スーパー300タイプPillar® |
CR4-3C-6F | PVDF Flaretek®ナット | 9.52 mm (3/8") Flaretek® |
CR4-3C-6F-3 | PFA Flaretek®ナット | 9.52 mm (3/8") Flaretek® |
CR4-3C-6F-II | PFA FlareLock® IIナット | 9.52 mm (3/8") Flaretek® |
CR4-3C-6F-OM | オムロンポジションセンサー | 9.52 mm (3/8") Flaretek® |
- 標準でピラーナット、インサート、ゲージリングが付属します。