EP PFA PMIマニホールドバルブ
- 半導体およびフラットパネルディスプレイ製造における薬液供給
- 半導体およびフラットパネルディスプレイ製造における高純度、腐食性薬液のハンドリング
仕様書
型番 | A | H | L寸法 | J接続 | T | ||||||
L-1 | L-2 | L-3 | L-4 | L-5 | L-6 | J-1 | J-2 | ||||
PLPMI-MP-P08 | 32 mm | 178 mm | 105 mm | 105 mm | 210 mm | 125 mm | 142 mm | 267 mm | 1/2" パイプ | 1/2" パイプ | 5 mm |
PLPMI-MP-P12 | 32 mm | 178 mm | 105 mm | 105 mm | 210 mm | 125 mm | 142 mm | 267 mm | 3/4" パイプ | 3/4" パイプ | 5 mm |
PLPMI-MP-F16 | 32 mm | 178 mm | 125 mm | 125.0 mm | 250 mm | 125 mm | 142 mm | 267 mm | 25.4 mm (1")フレア | 25.4 mm (1")フレア | 5 mm |
PLPMI-MP-P12-F16 | 32 mm | 178 mm | 105 mm | 125 mm | 230 mm | 125 mm | 142 mm | 267 mm | 3/4" パイプ | 25.4 mm (1")フレア | 5 mm |
材質: | 外部アクチュエータ部品 | ガラス充填ポリプロピレン | |
内部アクチュエータ部品 | PP、PVDF、フッ素ゴム、ステンレススチール | ||
接液部 | PFA、PTFE | ||
最高使用圧力: | 0.49 MPa | ||
最高使用温度: | 65 °C | ||
リーク試験圧力: | 0.78 MPa |
サイズ別Cv値データ
ポート | サイズ | 最大CV値 | 接続タイプ |
P08 | 1/2" | 5.5 | 溶着パイプ |
P12 | 3/4" | 7.5 | 溶着パイプ |
F16 | 25.4 mm (1") | 7.5 | PFAフレア |
ソフトウェアのバージョンアップ情報の送付が選択されました
型番 | ポート1接続 | ポート2接続 |
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PLPMI-MP-F16 | 25.4 mm (1") EP PFAフレア | 25.4 mm (1") EP PFAフレア |
PLPMI-MP-P08 | 12.7 mm (1/2")溶着パイプ | 12.7 mm (1/2")溶着パイプ |
PLPMI-MP-P12 | 19.05 mm (3/4")溶着パイプ | 19.05 mm (3/4")溶着パイプ |
PLPMI-MP-P12-F16 | 19.05 mm (3/4")溶着パイプ | 25.4 mm (1")溶着パイプ |