Galtek® SGシリーズ手動式バルブ、1/4"オリフィス、三方弁、1/4ターン
このバルブの接液部はオールフッ素樹脂製で、耐薬品性を優れ、以下のようなアプリケーションに適しています:
- ウェーハ洗浄
- CMPスラリー制御
- フォトリソグラフィプロセス
- 分析器
仕様書
アクチュエータの設計により、過剰な負荷をかけることなく長期間、高い信頼性でポート間のシール性が確保されます。各バルブは、6.35 mm (1/4")または9.53 mm (3/8") のフレアテック、フレアテック スペースセーバー、ピュアボンド、またはNPTメスのポート接続があります。信頼性の高い業界標準のフレアポート接続により液溜まりが少なく、柔軟なシステム設計が可能になり、取り付けが簡単です。
型番 | 流量係数CV | 流量係数KV | ポート接続 | 寸法 | ||
A | B | C | ||||
SG4-3Q-4F1 | 0.28 | 4.0 | 6.35 mm (1/4")フレアテック | 71.4 mm | 57.4 mm | 37.1 mm |
SG4-3Q-4N | 0.60 | 8.6 | 1/4 NPTメス | 49.8 mm | 45.5 mm | 24.9 mm |
SG4-3Q-4P | 0.60 | 8.6 | 1/4"ピュアボンドパイプ | 76.2 mm | 58.4 mm | 38.1 mm |
SG4-3Q-6F1 | 0.60 | 8.6 | 9.53 mm (3/8")フレアテック | 77.5 mm | 59.2 mm | 38.9 mm |
1型番末尾はナット材質を示し、なし(PVDF)、-3 (PFA)、-6 (CPFA)、-II (PFA製 フレアロック II)
温度範囲: | 周囲温度: 23 - 50°C 流体温度: 23 - 100°C | |
流体圧力: | ||
23°C | 共通: 552 kPa ポート3: 414 kPa ポート1: 414 kPa | |
100°C | 共通: 276 kPa ポート3: 207 kPa ポート1: 207 kPa | |
材質: | 接液部: フッ素樹脂 外部アクチュエータ部品: PVDF、ステンレススチール製ネジ 内部アクチュエータ部品: PVDF、ステンレススチール、フッ素ゴム |
ソフトウェアのバージョンアップ情報の送付が選択されました
型番 | ポート接続 | オプション |
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SG4-3Q-4F | 6.35 mm (1/4") Flaretek® | PVDF Flaretek®ナット |
SG4-3Q-4F-3 | 6.35 mm (1/4") Flaretek® | PFA Flaretek®ナット |
SG4-3Q-4F-6 | 6.35 mm (1/4") Flaretek® | CPFA Flaretek®ナット |
SG4-3Q-4N | 6.35 mm (1/4") NPTメス | N/A |
SG4-3Q-6F | 9.52 mm (3/8") Flaretek® | PVDF Flaretek®ナット |
SG4-3Q-6F-3 | 9.52 mm (3/8") Flaretek® | PFA Flaretek®ナット |
SG4-3Q-6F-6 | 9.52 mm (3/8") Flaretek® | CPFA Flaretek®ナット |