Torrento® X フィルター
- 産業: 半導体
- プロセス: ウェーハの洗浄・剥離、薬液供給設備
- 薬液: 反応性の高い酸・アルカリ、レジスト剥離液
- 設置ポイント: 装置内、使用点、原材料
仕様書
トレントX 1000 / 1500 スモール ディスポーザブル | トレントX 3000スモール ディスポーザブル | トレント ATE / AT3 カートリッジ | トレント ATE / AT3 ケムライン I / II ディスポーザブル | ||
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材質: | メンブレン: | Non-dewetting PTFE | Non-dewetting PTFE | Non-dewetting PTFE | Non-dewetting PTFE |
サポート、シェル | PFA | PFA | PFA | PFA | |
O-リング | - | - | 被覆フッ素ゴム(E-FKM)、被覆ETP(E-ETP)、Kalrez® (カルレッツ) 6375UP | - | |
膜面積: | 1000タイプ - 0.1 m2 1500タイプ - 0.19 m2 | 0.44 m2 | ATE 10": 2 m2 | ATE 10": 2 m2 AT3 10": 3 m2 | |
孔径: | 10 nm | 10 nm | 10nm | 10 nm | |
カートリッジ形状: | - | - | コード0 (AS568-222) | - | |
使用条件: | 最高使用圧力 | 1500タイプ: 0.59 MPa @ 25°C 0.19 MPa @ 95°C 1000タイプ: 0.44 MPa @ 25°C 0.19 MPa @ 95°C | 0.59 MPa @ 25°C 0.19 MPa @ 95°C | - | 0.58 MPa @ 25°C 0.097 MPa @ 200°C |
最大許容正差圧 | 0.39 MPa @ 25°C | 0.39 MPa @ 25°C | 0.44 MPa @ 25°C | 0.44 MPa @ 25°C 0.05 MPa @ 200°C | |
最大許容逆差圧 | 0.29 MPa @ 25°C | 0.29 MPa @ 25°C | 0.34 MPa @ 25°C | 0.34 MPa @ 25°C | |
最高使用温度 | 95°C | 95°C | - | 200°C | |
金属抽出物: | 高清浄品(UCM) | 16種類の金属について試験済み | |||
超高清浄品(X-UCM)* | 23種類の金属について試験済み | 23種類の金属について試験済み | |||
その他の抽出物: | 高清浄品(UCM) | TOC、CI | |||
超高清浄品(X-UCM)* | TOC、CI、F | TOC、CI、F (10 nm) | TOC、CI、F |
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型番 | フィルターの洗浄グレード | 流量 | ケムロックキー | 形状 | 長さ | 除粒子性能 | 接続 | O-リング |
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TR2T31X142SP | X-UCM | 高流量 | N/A | Chem-Line™ IIラージディスポーザブル | 10 インチタイプ | 10 nm | インラインオス オフセット、入口/出口25.4 mm (1")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、スーパー300タイプPillar®継手 | N/A |
TR2T31XM01FP | X-UCM | 高流量 | N/A | Chem-Line™ IIラージディスポーザブル | 10 インチタイプ | 10 nm | インラインオス、入口/出口19.05 mm (3/4")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、Flaretek®継手 | N/A |
TR2T31XM41SP | X-UCM | 高流量 | N/A | Chem-Line™ IIラージディスポーザブル | 10 インチタイプ | 10 nm | インラインオス、入口/出口25.4 mm (1")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、スーパー300タイプPillar®継手 | N/A |
TR2TE1X142SP | X-UCM | 中流量 | N/A | Chem-Line™ IIラージディスポーザブル | 10 インチタイプ | 10 nm | インラインオス オフセット、入口/出口25.4 mm (1")、ベント/ドレン12.7 mm (1/2")、スーパー300タイプPillar®継手 | N/A |
TR2TE1XM01FP | X-UCM | 中流量 | N/A | Chem-Line™ IIラージディスポーザブル | 10 インチタイプ | 10 nm | インラインオス、入口/出口19.05 mm (3/4")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、Flaretek®継手 | N/A |
TRCT31C00KP | UCM + | 高流量 | あり | カートリッジ | 10 インチタイプ | 10 nm | コード0 | E-FKM |
TRCT31C0B0P | UCM + | 高流量 | なし | カートリッジ | 10 インチタイプ | 10 nm | コード0 | E-ETP |
TRCT31C0BKP | UCM + | 高流量 | あり | カートリッジ | 10 インチタイプ | 10 nm | コード0 | E-ETP |
TRCT31X0BKP | X-UCM | 高流量 | あり | カートリッジ | 10 インチタイプ | 10 nm | コード0 | E-ETP |
TRCT32C0B0P | UCM + | 高流量 | なし | カートリッジ | 20 インチタイプ | 10 nm | コード0 | E-ETP |
TRCT32C0BKP | UCM + | 高流量 | あり | カートリッジ | 20 インチタイプ | 10 nm | コード0 | E-ETP |
TRCTE1C00KP | UCM + | 中 - 高流量 | あり | カートリッジ | 10 インチタイプ | 10 nm | コード0 | E-FKM |
TRCTE1C0BKP | UCM + | 中 - 高流量 | あり | カートリッジ | 10 インチタイプ | 10 nm | コード0 | E-ETP |
TRCTE1C0RKP | UCM + | 中 - 高流量 | あり | カートリッジ | 10 インチタイプ | 10 nm | コード0 | Kalrez® 6375UP |
TRCTE1X0B0P | X-UCM | 中 - 高流量 | なし | カートリッジ | 10 インチタイプ | 10 nm | コード0 | E-ETP |
TRCTE1X0BKP | X-UCM | 中 - 高流量 | あり | カートリッジ | 10 インチタイプ | 10 nm | コード0 | E-ETP |
TRCTE2C0BKP | UCM + | 中 - 高流量 | あり | カートリッジ | 20 インチタイプ | 10 nm | コード0 | E-ETP |
TRCTE2C0R0P | UCM + | 中 - 高流量 | なし | カートリッジ | 20 インチタイプ | 10 nm | コード0 | Kalrez® 6375UP |
TRDT31X902SP | X-UCM | 高流量 | N/A | Chem-Line™ Iラージディスポーザブル | 10 インチタイプ | 10 nm | T型、90度ベント、入口/出口19.05 mm (3/4")、ベント/ドレン12.7 mm (1/2")、スーパー300タイプPillar®継手 | N/A |
TRDT31X942SP | X-UCM | 高流量 | N/A | Chem-Line™ Iラージディスポーザブル | 10 インチタイプ | 10 nm | T型、90度ベント、入口/出口25.4 mm (1")、ベント/ドレン12.7 mm (1/2")、スーパー300タイプPillar®継手 | N/A |
TRSM04E00P6M31SP | UCM-10 | 中流量 | N/A | FlowPlane™スモールディスポーザブル | 4" | 7 nm | インラインオス、入口/出口9.52 mm (3/8")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、スーパー300タイプPillar®継手 | N/A |
TRVT31C942SP | UCM + | 高流量 | N/A | Chem-Line™ Iラージディスポーザブル | 10 インチタイプ | 10 nm | T型、90度ベント、入口/出口25.4 mm (1")、ベント/ドレン12.7 mm (1/2")、スーパー300タイプPillar®継手 | N/A |
TRVTE1C902SP | UCM + | 中 - 高流量 | N/A | Chem-Line™ Iラージディスポーザブル | 10 インチタイプ | 10 nm | T型、90度ベント、入口/出口19.05 mm (3/4")、ベント/ドレン12.7 mm (1/2")、スーパー300タイプPillar®継手 | N/A |
TRVTE1C942SP | UCM + | 中 - 高流量 | N/A | Chem-Line™ Iラージディスポーザブル | 10 インチタイプ | 10 nm | T型、90度ベント、入口/出口25.4 mm (1")、ベント/ドレン12.7 mm (1/2")、スーパー300タイプPillar®継手 | N/A |