バッフルキャリア、 ウェーハキャリア
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- 成膜
- 100 mm、125 mm、150 mm、200 mmをご用意
- 標準ハーフボート: 3スロット + モニタースロット(オプション)
- 標準フルボート: 6または7スロット
仕様書
代表的な材料特性
特性 | SUPERSiC | SUPERSiC |
みかけ密度: | 3.13 g/cm3 | 3.15 g/cm3 |
かさ密度: | 2.53 g/cm3 | 2.55 g/cm3 |
全気孔率: 容量% | 20% | 20%* |
開放気孔率: | 19% | 0%** |
総不純物濃度: | < 10 ppm | < 10 ppm |
曲げ強度: | 155 MPa | 155 MPa |
引張強度: | 129 MPa | 129 MPa |
弾性係数: | 217 GPa | 217 GPa |
比剛性: | 86 kN.m/g | 85 kN.m/g |
ポアソン比: | 0.17 | 0.17 |
動剛性率: | 97 GPa | 97 GPa |
破壊靭性: | 2.4 MPa.m0.5 | 2.4 MPa.m0.5 |
硬度: | 1992 kg/mm2 | N/A |
熱拡散率: | 100 mm2/s | 100 mm2/s |
熱伝導率: W/m.K
| 170 | 170 |
常温における瞬間熱膨張係数: | 2.4 10-6/K | 2.4 10-6/K |
* 空隙は高密度コーティングで密閉されており、プロセスにさらされません。
** 空隙はCVD SiCコーティングで密閉されています。
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