SUPERSiC®-3CX
- 高温アニールプロセス
仕様書
みかけ密度: | 3.15 g/cm3 |
かさ密度: | 2.55 g/cm3 |
全気孔率: | 20% (空隙は高密度コーティングで密閉されており、プロセスにさらされません) |
開放気孔率: | 0% (空隙はCVD SiCコーティングで密閉されています) |
総不純物濃度: | < 10 ppm |
曲げ強度: | 155 MPa |
引張強度: | 129 MPa |
弾性係数: | 217 GPa |
比剛性: | 85 kN.m/g |
ポアソン比: | 0.17 |
動剛性率: | 97 GPa |
破壊靭性: | 2.44 MPa.m0.5 |
熱拡散率: | 100 mm2/s |
熱伝導率: | 170 W/m-K |
常温における瞬間CTE: | 2.4 10-6 /K |
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