SUPERSiC®-Si-8C
インテグリスのアカウント担当にお問い合わせいただくか、
- 大型の光学コンポーネント
- リソグラフィコンポーネント
仕様書
みかけ密度: | 3.03 g/cm3 |
かさ密度: | 2.95 g/cm3 |
全気孔率: | 4% (空隙は高密度コーティングで密閉されており、プロセスにさらされません) |
開放気孔率: | 0% (空隙はCVD SiCコーティングで密閉されています) |
総不純物濃度: | < 10 ppm |
曲げ強度: | 192 MPa |
引張強度: | 124 MPa |
弾性係数: | 331 GPa |
比剛性: | 112 kN.m/g |
ポアソン比: | 0.17 |
動剛性率: | 138 GPa |
破壊靭性: | 3.8 MPa.m0.5 |
熱拡散率: | 115 mm2/s |
常温における瞬間CTE: | 2.4 10-6 /K |
ソフトウェアのバージョンアップ情報の送付が選択されました