• our science our science インテグリスのサイエンス
    • 産業別

      • マイクロエレクトロニクス

        • 半導体

        • データストレージ

        • フラットパネル ディスプレイ

        • LED

      • その他の工業

        • 航空宇宙

        • 一般工業

        • ガラス

    • 製造分野別

      • ロジック製造

      • メモリ製造

      • 半導体装置製造

      • 薬品製造

      • バイオプロセッサ

    • ソリューション別

      • コンタミネーション コントロール

      • 流体管理

      • ライフサイエンス

      • 特殊材料

      • 基板のハンドリング

    • サービス別

      • 分析サービス

      • フィールドサポートサービス

      • FOUPサービス

      • リファビッシュサービス

      • ガスピューリファイヤーの再生サービス

      • Technology Centers

        • China Technology Center

        • Life Sciences Technology Center

  • product catalog product catalog 製品カタログ
    • ベアダイ/チップトレー

      • トレー ウィザード

      • H20 シリーズ用アクセサリ

      • H44 シリーズ用アクセサリ

    • 化学薬品

      • 薬品供給システム

        • 固体材料供給 システム

        • 薬液供給システム

      • 特殊配合薬品

        • Coating, Ink, and Adhesive Ingredients

          • Resin Monomers and Components

          • Surface Modifiers

        • ポスト CMP クリーニング

          • 半導体用 クリーニング ソリューション

            • PlanarClean® クリーニング ソリューション

            • ESC クリーニング ソリューション

          • ワイド バンド ギャップ半導体用 クリーニング ソリューション

          • HDD メディア基板用 クリーニング ソリューション

        • ポストエッチング クリーニング

          • TitanKlean® クリーニング ソリューション

          • ST クリーニング ソリューション

          • NOE エッチャント クリーニング ソリューション

        • Precursors

          • Upstream ALD/CVD Precursors

          • Advanced Deposition Materials (ADM) ALD/CVD Precursors

        • エレクトロニクス用薬品

        • スラリー

        • Silanes

        • Organophosphorus Compounds

        • Specialty Acrylates and Methacrylates

        • Siloxanes

        • Specialty Additives

        • Ligands

        • ウェーハの再生

    • 流体管理

      • リキッドパッケージング

        • FluoroPure® 薬液容器

          • FluoroPure® HDPEブロー成形ドラム

            • FluoroPure® アドバンテージ トライレイヤー HDPEブロー成形ドラム

            • FluoroPure® トライレイヤーHDPE ブロー成形ドラム

          • FluoroPure® 複合ドラム

          • FluoroPure®カスタム製品

        • NOWPak®ライナーベースシステム

        • Sentry®クイックコネクトシステム

        • FluoroPure®中間バルクコンテナ

        • FluoroPure® ポートのオプション、ツール、アクセサリ

        • カスタム仕様のディップチューブ、タンク、コンテナ

        • FluoroPure®圧力容器

        • プロセスタンク

      • 流体のハンドリング

        • 継手

          • PrimeLock® チューブ継手

          • PrimeLock® ESD チューブ継手

          • PrimeLock®用 アクセサリ

          • Flaretek® チューブ継手

          • Flaretek®用アクセサリ

          • Cynergy®継手

          • Cynergy®用アクセサリ

          • EP PFAフレア継手

          • EP PFAフレア継手アクセサリ

          • PureBond®溶着チューブ継手

          • Quikgrip®チューブ継手

          • Quikgrip® PFAナット

          • インテグラルフルール チューブ継手

          • インテグラルフェルール チューブ継手用アクセサリ

          • PFA製 バーブ継手

          • 二重配管継手

          • PureBond®溶着パイプ継手

          • PureBond®アクセサリ

          • NPTパイプ継手

          • NPTネジ接続継手用アクセサリ

        • バルブ

          • CR および CH バルブ

            • CR4シリーズ バルブ

            • CR8シリーズ バルブ

            • CH8シリーズ 高温用バルブ

            • CRE4 Series Valves

            • CRE8 Series Valves

          • Integra®バルブ

          • Cynergy®バルブ

          • EP PFAバルブ

          • マニホールドおよびアッセンブリー

          • プラグバルブ

          • ニードル/計量バルブ

          • ストップコックバルブ

          • チェックバルブ

          • バルブ用 アクセサリ

          • Integra® Plus WS ESD Valves

        • 流体制御用の補助製品

          • スプレー製品

          • アスピレーター

          • ネジ類

        • バルブ 選択ツール

        • 継手 選択ツール

        • チューブおよびパイプ

        • カスタム製品

      • プロセスのモニタリング

        • プロセスの制御

          • InVue™ インテグレーテッド 流量コントローラ

          • NT™ 流量制御バルブ

          • フォトケミカル ディスペンス システム

        • プロセスの管理

          • 濃度計

          • 差圧式流量計

          • NT™圧力トランスデューサ

        • 粒子特性評価

    • ガスのろ過、精製

      • ガスディフューザー

        • Chambergard™ ガス ディフューザー

      • ガスフィルター

        • その他の ガスフィルター

        • PTFE メンブレン製 インライン ガスフィルター

        • ステンレススチール製 インライン ガスフィルター

        • ニッケルメンブレン製 インライン ガスフィルター

        • 集積 ガスフィルター

      • AMCフィルター

        • ステッパー / スキャナー用 ケミカル フィルター

        • プロセス装置用 ケミカル フィルター

        • クリーンルーム用 ケミカル フィルター

        • DUV、EUVスキャナー用 ケミカル フィルター キャビネット

      • ガスピューリファイヤー

    • ハードディスク部品のハンドリング

      • 保管用ボックスおよび個別ディスクパック

      • リードライトトレーおよびキャリア

      • ディスクシッパー

      • ディスクプロセスキャリア

    • 液体のろ過、精製

      • 液体用 フィルター

      • 液体用 ピューリファイヤー

      • 液体用 フィルター ハウジング

    • マスクおよびレチクルのハンドリング

      • レチクルポッドおよびパージ キャビネット

      • マスクキャリアと出荷ボックス

      • マスクパッケージ

    • その他の基板のハンドリング

      • その他のデバイス用工程内容器

      • 太陽電池用製品

    • 特殊材料

      • 高純度グラファイト

        • Industrial Graphite Grades

        • Semiconductor Graphite Grades

        • Life Sciences Graphite Grades

        • 高純度 グラファイト 部品

        • ガラス成形用 グラファイト

        • GLASSMATE®コンポーネント

        • グラファイト処理の オプション

      • コーティング

        • 静電チャック

        • プラズマ CVD コーティング

        • Caerus™ コーティング 技術

        • Pegasus™ コーティング 技術

      • 高純度シリコンカーバイド

        • SUPERSiC® シリコン カーバイド 部品

        • SUPERSiC® シリコン カーバイド

      • Advanced Cleaning Materials

    • 特殊ガス

      • 特殊配合 ガス

      • ガス供給用シリンダーシステム

      • ガス供給用 キャビネット システム

      • ガス

    • ウェーハハンドリング

      • ウェーハプロセス用製品

        • CMP 洗浄用ブラシ

        • CMP パッドおよびパッドコンディショナー

        • 300 mm FOUP

        • 200 mm ウェーハ用工程内容器

        • 200 mmウェーハ用アクセサリ

        • 150 mmウェーハ用工程内容器

        • 150 mm 以下のウェーハキャリア用アクセサリ

        • 125 mm ウェーハ用工程内容器

        • 100 mm ウェーハ用工程内容器

        • 76.2 mm (3") ウェーハ用工程内容器

        • 2.5 インチ以下のウェーハ用工程内容器

        • 実験用器具

        • 静電チャック

      • ウェーハ用 出荷容器

        • 300 mm ウェーハ出荷容器

        • 200 mmウェーハ用出荷容器

        • 150 mmウェーハ用出荷容器

        • 125 mmウェーハ用出荷容器

        • 100 mmウェーハ用出荷容器

        • 3インチ ウェーハ用出荷容器

        • 2.5 インチ以下のウェーハ用出荷容器

      • 完成品ウェーハ用 出荷容器

        • SmartStack® 非接触型 ホリゾンタルウェーハシッパー

        • SmartStack® ホリゾンタル ウェーハ シッパー

        • フィルムフレームシッパー および リング

  • resources resources ライブラリー
    • 関連資料

    • 技術情報

      • 計算およびその他のツール

      • Entegris Test Standards and Protocols

      • 公式

      • 耐薬品性

      • Material Properties and Safety

      • 粒子特性評価のアプリケーション

      • Chemlock® Filter Housing Technical Information

    • 業界に潜在する問題/ニーズ

      • 3D NAND Solutions

      • 先端成膜材料のイノベーション

      • 完璧なパターンの追求

      • 高純度薬液の供給

      • 高純度ガスの供給

      • 静電気放電 (ESD) の防止

      • End-to-End Gas Filtration Solutions

      • デバイスの性能、歩留まり、信頼性を実現する包括的なアプローチ

      • Silicon Carbide CMP Solutions

      • 革新的な材料で先端技術の課題を解決

      • Targeted Contaminant Removal

    • Scientific Report

  • about us about us インテグリスについて
    • 企業概要

    • 企業の社会的責任 (CSR)

    • 採用情報

    • イベント

    • 株主・投資家向け情報

    • 規定/商標

    • グループ会社

    • ニュース

    • マスメディア報道

    • インテグリスの日本法人

    • 製造拠点

ST クリーニング ソリューション


注目のホワイトペーパー

3D NANDの性能、信頼性、歩留まりの向上に関する考察

注目のホワイトペーパー

3D NANDの性能、信頼性、歩留まりの向上に関する考察

注目のホワイトペーパー

3D NANDの性能、信頼性、歩留まりの向上に関する考察
選択を絞り込む
  • 配線技術
  • 業種
ST-44ポジ型レジスト剥離液は、有機溶剤混合液をベースに配合された、初めてのポジ型フォトレジスト剥離液です。金属および金属合金の表面(電解効果やガルバニック効果によって腐食しやすい)からの剥離が難しいポジ型フォトレジストを効果的に除去する目的で開発されています。
配線技術
  • Al
テクノロジーノード(nm)
  • 250\、130\、90\、65
産業
  • 半導体
プロセス
  • CMP後
ST-22ポジ型レジスト剥離液は、有機溶剤混合液をベースに配合されたポジ型フォトレジスト剥離液で、剥離が難しいポジ型フォトレジストを効果的に除去する目的で開発されています。ST-22は水溶性で、フェノールや塩素化炭化水素その他の有害物質を含んでいません。また、ST-22は廃棄処分しやすい配合になっています。
配線技術
  • Al
テクノロジーノード(nm)
  • 250\、130\、90\、65
産業
  • 半導体
プロセス
  • CMP後
ST-33ポジ型レジスト剥離液は、有機溶剤をベースに配合されており、腐食しやすい基板からポジ式フォトレジストを効果的に除去する目的で開発されています。独自に調合されたST-33は、GaAsとその他のIII-V金属および銅の腐食性エッチングを除去します。
配線技術
  • Al
テクノロジーノード(nm)
  • 250\、130\、90\、65
産業
  • 半導体
プロセス
  • CMP後
インテグリスのST-200ソリューションシリーズは、小さな形状のデバイスから強く酸化されたプラズマエッチング残留物を除去するように配合されています。この製品は、エチレングリコールエーテルをベースとする溶剤、N-メチルピロリドン、反応性の非常に高いヒドロキシルアミンなどのSARAで定められた報告すべき成分は含んでいません。
配線技術
  • Al
テクノロジーノード(nm)
  • 130 (90,65)
産業
  • 半導体
プロセス
  • CMP後
ST-28Mプラズマ残留物剥離剤は、高エネルギー密度プラズマエッチング装置や小さな形状のデバイスで発生しやすい残留物を除去する目的で配合されています。ST-28Mは有機残留物、無機残留物いずれの除去にも使用できますが、先進の低温O2アッシングプロセス後の残留物の除去に特に効果を発揮します。
配線技術
  • Al
テクノロジーノード(nm)
  • 250\、130\、90\、65
産業
  • 半導体
プロセス
  • CMP後
ST-26S剥離液は、反応性の高いプラズマエッチングやアッシングで形成される残留金属酸化物やその他の無機残留物の除去に優れた効果を発揮する錯化剤を含んでいます。この独自の剥離液は強く酸化された残留物に効果的に浸透し、残留物が基板に再付着する前に速やかに除去します。極めて低い使用粘度で腐食を低減する成分が配合されている ST-26S は、自動フォトレジスト剥離装置での使用に理想的です。
配線技術
  • Al
テクノロジーノード(nm)
  • 250\、130\、90\、65
産業
  • 半導体
プロセス
  • CMP後
ST250™ Cu残留物剥離液は、銅、先進のバリア層、エッチストップ材料に対して優れた適合性を発揮するように配合されています。
配線技術
  • Cu\、WLP
テクノロジーノード(nm)
  • 130\、90\、65\、45\、40\、28\、16\、10
比較のためにこの商品を追加する場合は、他の4つの商品のうち1つのチェックマークを外してください。 比較のためにこの商品を追加する場合は、他の2つの商品のうち1つのチェックマークを外してください。
-->