半導体用 クリーニング ソリューション
優れた腐食防止と表面汚染物質の除去
インテグリスは、化学機械研磨後 (CMP 後) 洗浄のプロセスに対応した幅広いソリューションを提供します。 このソリューションは、優れた腐食防止、表面汚染物質の除去、および運用コストパフォーマンスを提供します。
優れた腐食防止と表面汚染物質の除去
インテグリスは、化学機械研磨後 (CMP 後) 洗浄のプロセスに対応した幅広いソリューションを提供します。 このソリューションは、優れた腐食防止、表面汚染物質の除去、および運用コストパフォーマンスを提供します。