200 mm 保管用ボックス
200 mm 用保管ボックスは、次のような用途に適しています:
- 工場内搬送
- プロセス装置インターフェース
- 半導体工場でのウェーハ保管
仕様書
型番 | ラッチのタイプ | 適合キャリア | トラベラー対応 | 材質 | 備考 |
E99-111N-69F02 | スイングピン式 | 192/198 シリーズ、20X シリーズ、および一部の200 シリーズ* のキャリア | あり | カバー:スタット-プロ (STAT-PRO) 175 本体:スタット-プロ 175 ラッチ:PBT |
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E99-113N-69F02 | スイングピン式 | 192/198 シリーズ、20X シリーズ、および一部の200 シリーズ* のキャリア | なし | カバー:スタット-プロ 175 本体:スタット-プロ 175 ラッチ:PBT |
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E99-211N-69F02 | 自動化 | 192/198 シリーズ、20X シリーズ、および一部の 200 シリーズ* のキャリア | あり | カバー:スタット-プロ175 本体:スタット-プロ175 ラッチ:ポリカーボネート (グレー) |
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E99-213N-69F02 | 自動化 | 192/198 シリーズ、20X シリーズ、および一部の 200 シリーズ* のキャリア | なし | カバー:スタット-プロ 175 本体:スタット-プロ 175 ラッチ:ポリカーボネート (グレー) |
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E99-214N-PCPP-16 | 自動化 | 192/198 シリーズ、20X シリーズ、および一部の 200 シリーズ* のキャリア | あり |
カバー:ポリカーボネート (透明) |
赤、青、緑、および UV ブロックのアンバーのポリカーボネート製カバーから選択可能 |
HA200-0002 | 人間工学的 | 192/198 シリーズ、20X シリーズ、および一部の 200 シリーズ* のキャリア | あり | カバー:エムスタット (EMSTAT) AR 本体:エムスタット AR ラッチ:ポリカーボネート |
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HA200-0005 | 自動化 | 192/198 シリーズ、20X シリーズ、および一部の 200 シリーズ* のキャリア | あり | カバー:エムスタットAR 本体:エムスタットAR ラッチ:ポリカーボネート |
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HA200-0063 | 自動化 | 192/198 シリーズ、20X シリーズ、および一部の 200 シリーズ* のキャリア | あり | カバー:ポリカーボネート (アンバー) 本体:エムスタット AR ラッチ:ポリカーボネート |
赤、青、緑、およびUVブロックのアンバーのポリカーボネート製カバーから選択可能 |
E210-80-1000-69F02 | スイングピン式 | すべての 25 枚および 26 枚収容のウェーハキャリア | なし |
カバー:スタット-プロ 175 |
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E210-80-1000-PCPP | スイングピン式 | すべての 25 枚および 26 枚収容のウェーハキャリア | なし | カバー:ポリカーボネート (透明) 本体:スタット-プロ 175 ラッチ:PBT |
赤、青、緑、および UV ブロックのアンバーのポリカーボネート製カバーから選択可能 |
E99-101-0603 | スイングピン式 | 192/198 シリーズ、20X シリーズ、および一部の 200 シリーズ* のキャリア | あり |
カバー:ポリプロピレン (青) |
赤、緑、黄、白、ナチュラル、茶、オレンジの色から選択可能 |
E99-101-61C02 | スイングピン式 | 192/198 シリーズ、20X シリーズ、および一部の 200 シリーズ* のキャリア | あり | カバー:スタット-プロ 100 本体:スタット-プロ 100 ラッチ:PBT |
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E99-101-69F02 | スイングピン式 | 192/198 シリーズ、20X シリーズ、および一部の 200 シリーズ* のキャリア | あり | カバー:スタット-プロ 175 本体:スタット-プロ 175 ラッチ:PBT |
*製品型番については、インテグリスまでお問い合わせください。
ソフトウェアのバージョンアップ情報の送付が選択されました
型番 | ボトム (収容部) 材質 | カバー (蓋) 材質 | ラッチのタイプ | Bottom Material Color | Cover Material Color | Hinge |
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E210-80-1000-69F02 | スタットプロ (STAT-PRO®) 175 | スタットプロ (STAT-PRO®) 175 | スイングピン式 | Black | Black | Standard |
E210-80-1000-PCPP | スタットプロ (STAT-PRO®) 175 | ポリカーボネート | スイングピン式 | Black | 透明 | Standard |
E99-101-0603 | ポリプロピレン | ポリプロピレン | スイングピン式 | Blue | Blue | Standard |
E99-101-61C02 | スタットプロ (STAT-PRO®) 100 | スタットプロ (STAT-PRO®) 100 | スイングピン式 | Black | Black | Standard |
E99-101-69F02 | スタットプロ (STAT-PRO®) 175 | スタットプロ (STAT-PRO®) 175 | スイングピン式 | Black | Black | Standard |
E99-111N-69F02 | スタットプロ (STAT-PRO®) 175 | スタットプロ (STAT-PRO®) 175 | スイングピン式 | Black | Black | Standard |
E99-113N-69F02 | スタットプロ (STAT-PRO®) 175 | スタットプロ (STAT-PRO®) 175 | スイングピン式 | Black | Black | Standard |
E99-211N-69F02 | スタットプロ (STAT-PRO®) 175 | スタットプロ (STAT-PRO®) 175 | 自動化 | Black | Black | Standard |
E99-213N-69F02 | スタットプロ (STAT-PRO®) 175 | スタットプロ (STAT-PRO®) 175 | 自動化 | Black | Black | Standard |
E99-214N-PCPP-16 | スタットプロ (STAT-PRO®) 175 | ポリカーボネート | 自動化 | Black | 透明 | Standard |
HA200-0002 | エムスタット (EMSTAT™) AR | エムスタット (EMSTAT™) AR | 人間工学的 | Black | Black | Standard |
HA200-0005 | エムスタット (EMSTAT™) AR | エムスタット (EMSTAT™) AR | 自動化 | Black | Black | Standard |
HA200-0063 | エムスタット (EMSTAT™) AR | ポリカーボネート | 自動化 | Black | Amber | Standard |
HA200-EH0002 | エムスタット (EMSTAT™) AR | エムスタット (EMSTAT™) AR | 人間工学的 | Black | Black | Enhanced |
HA200-EH0002-06F04 | エムスタット (EMSTAT™) AR+ | エムスタット (EMSTAT™) AR+ | 人間工学的 | Red | Red | Enhanced |
HA200-EH0002-06F55 | エムスタット (EMSTAT™) AR+ | エムスタット (EMSTAT™) AR+ | 人間工学的 | Green | Green | Enhanced |
HA200-EH0005 | エムスタット (EMSTAT™) AR | エムスタット (EMSTAT™) AR | 自動化 | Black | Black | Enhanced |
HA200-EH0005-06F02 | エムスタット (EMSTAT™) AR+ | エムスタット (EMSTAT™) AR+ | 自動化 | Black | Black | Enhanced |
HA200-EH0005-06F05 | エムスタット (EMSTAT™) AR+ | エムスタット (EMSTAT™) AR+ | 自動化 | Green | Green | Enhanced |
HA200-EH0005-06F08 | エムスタット (EMSTAT™) AR+ | エムスタット (EMSTAT™) AR+ | 自動化 | Gray | Gray | Enhanced |
HA200-EH0016 | エムスタット (EMSTAT™) AR+ | エムスタット (EMSTAT™) AR+ | 自動化 | Blue | Blue | Enhanced |