Spectra™ FOUP
インテグリスのアカウント担当にお問い合わせいただくか、
- クリーンで安全な 300 mm ウェーハの搬送とハンドリングを提供する FOUP プラットフォーム
- 自動化対応による、工場の所有コストの削減
仕様書
寸法 | 幅 | 416 mm |
奥行 | 333 mm | |
高さ | 335 mm | |
重さ | ウェーハ未収納時 | 4.2 kg |
ウェーハ収納時 | 7.3 kg | |
ウェーハ間隔 | 10 mm | |
収容枚数 | 26 |
構成部材
- FOUP シェル、ドアハウジング、ドアパネル:超高純度ポリカーボネートまたはバリア材
- シェル、ドア、ドアコンポーネントの接ウェーハ部:炭素含有 PEEK または高温バリア材料 (XT EBM)
- ドア用ガスケット:熱可塑性エラストマー
- 最先端のウェーハプロセス技術可能にするインテグリスのバリア材 (EBM) が利用可能
オプション構成とアクセサリ
シェルおよびドアのカラーオプション
- アンバー、赤、緑、透明、黒 (ESD シェルのみ)
パージオプション
- フロント/リア用 標準パージ
- リア用 アドバンスド ディフューザー
識別用オプション
- インフォパッド:取り付け位置を指定可能
ID オプション
- バーコードと英数字ラベル
- カラーハンドル
- カードホルダー
- リード/ライト機能付き RFID タグ
ソフトウェアのバージョンアップ情報の送付が選択されました