SB300 FOSB
- 300 mm ウェーハのハンドリングおよび搬送
仕様書
Materials | Wafer contact | Shell, door, door cushion | Polycarbonate |
Rear retainer | Polybutylene terephthalate | ||
Exterior | Handles, auto flange, info pads | Polycarbonate | |
Gasket | Thermoplastic elastomer | ||
KC plate | Polycarbonate | ||
収容枚数 | 25 枚 | ||
Dimensions | 奥行 | 332.77 mm ±0.1 mm | |
幅(ハンドルなし) | 389.52 mm ±0.1 mm | ||
高さ(自動化対応トップフランジを含む) | 336.93 mm ±0.1 mm | ||
2-pack secondary packaging dimensions | Length | 680 mm | |
Width | 415 mm | ||
Height | 365 mm | ||
Weight | Empty | 4.6 kg | |
Full | 7.8 kg | ||
Wafer | Size | 300 mm | |
ピッチ | 10.0 mm | ||
Planes | ±0.5 mm from nominal |
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型番 | 製品詳細 |
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SB300-EN8-52 | 300 mm FOSB, full assembly |