E1250 フィルター キャビネット
- 露光装置やコータ/デベロッパーなどのリソグラフィー装置内の環境エア中の分子状汚染物質 (AMC) を除去
- 小規模な室内の AMC 除去
- 先端施設における環境エアの AMC 低減
仕様書
奥行 | 1430 mm |
幅 | 664 mm |
高さ | 664 mm |
重さ (フィルターなし) | 73 kg |
重さ (フィルターあり) | 98 kg |
最大流量 | 2,125 m3/h |
標準流量 | 850 m3/h |
圧力損失 (標準流量でフィルター 3 枚を使用した場合) | 380 Pa |
クリーンドライエア (CDA) | 空圧式アクチュエータ用 |
CDA 用 接続 | 6.35 mm (1/4") |
CDA 用 圧力 | 517 kPa |
エア流量 | 少量 |
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型番 | 製品タイプ |
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ESI000980 | E1250 filter housing |