Vaporsorb™II VP ケミカルフィルター
- フォトリソグラフィ
仕様書
材質 | ||
---|---|---|
ケース | 1.52 mm (0.060”) 透明陽極酸化アルミ | |
メディア | ベーパーソーブII | |
カバースクリーン | 1.52 mm (0.060”) 透明陽極酸化アルミ1層 (スクリムなし) | |
ガスケット(使用する場合) | 6.35 mm x 12.7 mm (0.25” x 0.5”) ポリエチレン、二次側のみ | |
化学的および機械的性能 | ||
パラメータ | 条件 | 目標値 |
気流速度分布 | フィルター二次側0.1 mの9点@ 0.5 m/s | 均一な分布: バラツキはほぼ無し |
圧力損失 | 0.5 m/sec | < 50 Pa |
初期効率(塩基) | 1000 ppbv NH3 | 除去効率(RE) > 99% |
寿命(塩基) | 10 ppbv NH3 @ 0.5 m/sec | > 60,000時間@ RE > 90% |
温湿度ばらつき | 30 – 70% RH 18 – 35°C | 製品寿命を通じての劣化 < 10% |
パーティクルの発生 | ft2当たりのパーティクル数(> 0.1 µm) | < 10個@フィルター二次側1 mの地点 |
金属性汚染物質 | 未検出 | < 0.1 ng/L (空気中) |
注: 寿命推定は、類似の吸着剤構成のラボおよびフィールド試験に基づいています。
ソフトウェアのバージョンアップ情報の送付が選択されました
型番 | ガスケット(使用する場合) | ハンドル(使用可能な場合) | 高さ | 幅 |
---|---|---|---|---|
ESI002425-03 | なし | — | 400 mm (15.74") | 1120 mm (44.09") |
ESI002425-04 | なし | — | 460 mm (18.11") | 620 mm (24.40") |
ESI002425-05 | なし | — | 460 mm (18.11") | 385 mm (15.15") |
ESI002425-06 | なし | — | 460 mm (18.11") | 460 mm (18.11") |
ESI002425-08 | なし | — | 615 mm (24.21") | 155 mm (6.10") |
ESI002425-12 | あり | — | 460 mm (18.11") | 620 mm (24.40") |
ESI002425-13 | あり | — | 460 mm (18.11") | 385 mm (15.15") |
ESI002425-14 | あり | — | 460 mm (18.11") | 460 mm (18.11") |
ESI002425-15 | あり | — | 615 mm (24.21") | 310 mm (12.20") |
ESI002425-16 | あり | — | 460 mm (18.11") | 360 mm (14.17") |
ESI002425-21 | なし | — | 610 mm (24.01") | 305 mm (12.00") |
ESI006436-01 | なし | — | 270 mm (10.63") | 720 mm (28.34") |
ESI006436-02 | なし | — | 360 mm (14.17") | 620 mm (24.40") |
ESI006437-01 | なし | — | 360 mm (14.17") | 200 mm (7.87") |