MegaTorr® PS22 XCDA® ガス精製装置
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仕様書
寸法
寸法 | ||||
モデル | 高さ (cm) | 幅 (cm) | 奥行 (cm) | 重さ (kg) |
PS22-MGT10 - PS22-MGT30 | 138 | 80 | 40 | <110 |
PS22-MGT40 - PS22-MGT60 | 168 | 87 | 61 | <180 |
PS22-MGT90 - PS22-MGT120 | 165 | 100 | 70 | <300 |
PS22-MGT200 - PS22-MGT300 | 193 | 132 | 135 | <1,500 |
PS22-MGT400 - PS22-MGT900 | 209 | 148 | 196 | <2,300 |
PS22-MGT1000 - PS22-MGT1400 | 239 | 191 | 236 | <2,300 |
PS22-MGT1500 - PS22-MGT3000 | 264 | 252 | 262 | <5,600 |
PS22-MGT4000 - PS22-MGT5000 | 264 | 252 | 262 | <6,000 |
PS22-MGT16000 - PS22-MGT10000 | 267 | 252 | 467 | <10,500 |
<PS22-MGT10000 | その他のモデルも対応可能です詳細はお問い合わせください。 |
屋外用キャビネットのオプション (OPAL) |
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使用ガス | XCDA | |||
精製対象不純物と精製純度 | H2O <100 ppt | |||
有機物、難燃性化合物、酸、塩基 <10 ppt | ||||
流量 | Nm3/hr | slpm | ||
PS22-MGT10 - PS22-MGT30 | 10 - 30 | 167 - 500 | ||
PS22-MGT40 - PS22-MGT60 | 40 - 60 | 667 - 1,000 | ||
PS22-MGT90 - PS22-MGT120 | 90 - 120 | 1,500 - 2,000 | ||
PS22-MGT200 - PS22-MGT300 | 200 - 300 | 3,333 - 5,000 | ||
PS22-MGT400 - PS22-MGT600 | 400 - 600 | 6,667 - 10,000 | ||
PS22-MGT1000 - PS22-MGT1400 | 1,000 - 1,400 | 16,667 - 23,333 | ||
PS22-MGT1500 - PS22-MGT3000 | 1,500 - 3,000 | 25,000 - 50,000 | ||
PS22-MGT4000 - PS22-MGT5000 | 4,000 - 5,000 | 66,667 - 83,333 | ||
PS22-MGT6000 - PS22-MGT10000 | 6,000 - 10,000 | 100,000 - 166,667 | ||
> PS22-MGT10000 | >10,000 Nm3/hr | >166,667 | ||
最大圧力損失 | |
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PS22-MGT10 ~ PS22-MGT120 | <70 kPa | |||
PS22-MGT200 ~ PS22-MGT10000 | <100 kPa | |||
注: | 精製装置は特定のガスに特化しています。決められたガス以外に使用しないでください |
標準仕様 |
オプション仕様 |
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屋外用キャビネットのオプション (OPAL)
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屋外の設置については、屋外用キャビネット (オプション) をご覧ください。
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