Wafergard® III NF-750 インライン ガスフィルター
- 高純度ガスライン
- 高温用途
- バルブ マニホールド ボックス
- ファブ設備
- 既存の PTFE 製フィルターからのアップグレード
- スピンリンスドライヤー
- 不活性ガスおよび反応性の高いガス
- 原材料ガス
- 気相ガス
仕様書
材質 | フィルターエレメント | 焼結ニッケル製メンブレン |
ハウジング | VAR 316L ステンレススチール (電解研磨) | |
粒子清浄度 | 粒子数*、** | 0.01µm以上の粒子が 0.03個/L以下 (@ 300 slpm) |
揮発性物質*** | 揮発性物質 (H2O、O2、THC) のアウトガスは検出限界未満 (室温での RGA と FID による) | |
除粒子径 | 0.0015 µm | |
内面粗度 | Ra ≤ 5 µin | |
総ろ過面積 | 140.0 cm2 | |
Heリークレート | 認定値 | 2 x 10-11 Pa・m3/sec |
試験条件 | 1 x 10-10 Pa・m3/sec | |
使用条件 | 最高入口側圧力 | 1 MPa 未満 (日本国内における仕様) |
最大許容正差圧/逆差圧 | 1 MPa | |
最高使用温度 | 不活性ガス | 400 °C |
腐食性ガスおよび反応性の高いガス | 50 °C | |
製品保証 | 5 年 | |
粒子捕捉率 | すべての粒子の99.9999999 % (LRV 9) 以上を除去 @ 300 slpm、すべての粒子の 99.9999% (LRV 6) 以上を除去 @ 750 slpm (最も透過しやすい粒子サイズにおいて) | |
流量 | 性能データをご確認ください |
* 粒子清浄度は SEMASPEC の粒子シェディングの試験方法 (#93021511A-STD) に従って評価。
** 6.35 mm (1⁄4") ガスケットシール継手 (VCR® 継手互換) について100 slpmで検証。
*** 揮発性物質の清浄度は SEMASPEC の THC 放出 (#90120396B-STD)、水分放出 (#90120397B-STD)、酸素放出 (#90120398B-STD) の試験方法に従って評価。
ソフトウェアのバージョンアップ情報の送付が選択されました
型番 | 継手サイズとタイプ |
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WG3NS7RR4 | 入口/出口12.7 mm (1/2")ガスケットシール(VCR継手互換)オス |