1010 シリーズ EUV ポッド
- ASML 社の認定済み
- EUV レチクルの搬送、保管、ハンドリング、真空搬送中にディフェクトを発生を防ぎ、保護するように設計
- SEMI E152 規格に準拠
- デュアルポッド設計により、内部および外部ポッドで汚染物から保護された環境を維持
- 標準 (「A」タイプ) 仕様 とペリクル対応仕様をご用意
- EUV スキャナーやその他の装置との相互運用が可能
仕様書
レチクルサイズ: | 152 mm × 152 mm × 6.35 mm (SEMI P37 に準拠) | |
レチクルの向き: | パターンが下向き | |
レチクルの収容枚数: | 1 枚 | |
SEMI 規格: | SEMI E152 に準拠 | |
重さ: | 外部ポッド | 約 2.1 kg |
外部ポッド (AK ハンドル付き) | 約 2.2 kg | |
内部ポッド | 約 1.1 kg |
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型番 | インナーポッドのタイプ | ペリクルポケット | ハンドルの色 | EOP 確認窓付きドア |
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EUV-1010A-121-PD | なし | なし | Yellow | No |
EUV-1010P-121-PD | あり | あり | Red | Yes |