200 mm レチクル SMIF ポッド
- マスクの保護
- リソグラフィ工程
- レチクルのハンドリングおよび保管
仕様書
収容枚数 | 150 mm のレチクル 1 枚 |
UV 透過率 (全色) | ~ 0 % @ ≤ 470 nm |
帯電防止性能 | < 2 sec |
重さ | 1.38 kg |
信頼性 | > 50K MCBF (平均故障間隔) |
洗浄 | 分解せずに洗浄可能 |
シリアル番号による識別 | 任意採番可能で恒久的なシリアル刻印 |
ドアの平坦度 | 0.5 mm |
ソフトウェアのバージョンアップ情報の送付が選択されました
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RSP200-5500
RSP200 gasket kit, 20 ea
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RSP200-5003
E200 door with PBT gasket, 10 ea
型番 | ドームのタイプ | バーコード | RFID | ドアのタイプ | スペーサー |
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9700-9753-03 | ABS (アンバー) | あり | なし | A200 | あり |
9700-9753-04 | ABS (アンバー) | あり | なし | A200 | なし |
9700-9753-05 | ABS (アンバー) | あり | あり | A200 | あり |
9700-9753-06 | ABS (アンバー) | あり | あり | A200 | なし |
RSP200-1104W04-M | ドーム(窓付き) | なし | なし | A200 | なし |
RSP200-1104W04-MR | ドーム(窓付き) | なし | あり | A200 | なし |
RSP200-2004W04-M | ドーム(窓付き) | なし | なし | E200ドア | なし |
RSP200-2104 | PEEK™ | なし | なし | E200ドア | なし |
RSP200-2106 | PEEK™ | なし | あり | E200ドア | なし |
RSP200-2106AK-1 | AK ハンドル付き PEEK™ | なし | あり | E200ドア | なし |
RSP200-2106W04 | ドーム(窓付き) | なし | あり | E200ドア | なし |
RSP200-2106W04-7 | ドーム(窓付き) | あり | あり | E200ドア | なし |