レチクルポッド パージキャビネット
- レチクルポッドの保管
- レチクルポッドのパージ
仕様書
収容数 | 24、36、48、または 84 のパージ ネスト |
パージ インターフェース | RSP150 SMIF または RSP200/EUV |
RFID 識別 | リード/ライト機能 |
ドア | 必要に応じて利用可能 |
パージ ガス | 1 または 2 |
RSP150 SMIF 仕様の設置スペース | 長辺 1.56 m x 短辺 0.66 m x 高さ 1.97 m |
RSP200/EUV 仕様の設置スペース | 長辺 2.20 m x 短辺 0.50 m x 高さ 2.07 m |
長辺 3.33 m x 短辺 0.50 m x 高さ 2.07 m |
ソフトウェアのバージョンアップ情報の送付が選択されました
型番 | インターフェース | パージ ネスト | パージ ガス | 圧力コントローラ |
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RSPX-DPC-048SS-31A | RSP150 | 48 | 1 | No |
RSPX-DPC-084SS-31B | RSP150 | 84 | 1 | Yes |
RSPX-EUV-024 | RSP200/EUV | 20 | 1 | No |
RSPX-EUV-036 | RSP200/EUV | 10 | 1 | No |
RSPX-EUV-048 | RSP200/EUV | 48 | 1 | No |