CR4シリーズ 空圧式2方バルブ、1/4"オリフィス、ノーマリーオープン、ルアー
- 構成によっては不可能な場合があります。複数の特注機能が必要な場合は、インテグリスまでお問い合わせください。
- フッ素系界面活性剤を含む流体のハンドリングで「スペースセーバー」ポート接続を使用する場合は、インテグリスまでお問い合わせください。
- 標準でピラーナット、インサート、ゲージリングが付属します。
- P2 = 90°時計回りに回転させたエア供給ポート
- P3 = 180°時計回りに回転させたエア供給ポート (ポート2の上)
- P4 = 270°時計回りに回転させたエア供給ポート
- 高純度の腐食性薬液のハンドリング
- あらゆる半導体のウェーハの洗浄・剥離(WEC)プロセス用薬液
- 薬液ラインサイズ: 9.53 mm (3/8")以下
仕様書
過酷な環境への耐久性を備えたバルブ
- 金属部品の露出がないCR4シリーズバルブは完全にシールされ、過酷な薬液環境から保護
- マニホールドをカスタマイズして薬液供給システムに組み込み可能なモジュール型設計
- インテグリスの独立型Galtek® SGシリーズバルブやDymension®バルブマニホールドと同様の設置面積で設計されているため、既設の装置への後付けや交換が容易
寸法 | ||||
ポート接続 | 流量係数CV | 流量係数KV | A | B |
6.35 mm (1/4")フレアテック | 0.29 | 4.2 | 85.3 mm (3.36") | 13.0 mm (0.51") |
1/4 NPTメス | 0.84 | 12.0 | 69.8 mm (2.75") | 13.0 mm (0.51") |
6.35 mm (1/4")スーパー300タイプピラー継手 | 0.29 | 4.2 | 65.3 mm (2.57") | 13.0 mm (0.51") |
6.35 mm (1/4")プライムロック | 0.34 | 4.9 | 80.8 mm (3.18") | 13.0 mm (0.51") |
6.35 mm (1/4")ピュアボンド | 0.84 | 12.0 | 68.1 mm (2.68") | 13.0 mm (0.51") |
9.53 mm (3/8")フレアテック | 0.84 | 12.0 | 88.9 mm (3.50") | 13.0 mm (0.51") |
9.53 mm (3/8")スーパー300タイプピラー継手 | 0.84 | 12.0 | 73.2 mm (2.88") | 13.0 mm (0.51") |
9.53 mm (3/8")プライムロック | 0.84 | 12.0 | 80.8 mm (3.18") | 15.5 mm (0.61") |
流量調節開/閉(上の5番目の図面に記載)
注: 高さ寸法は開位置のステムを含みます。
- 流量調節開オプションを使用すると、空圧式制御バルブの開行程の可変リミットを手動制御可能
- 流量調節閉オプションを使用すると、空圧式制御バルブの閉行程の可変リミットを手動制御可能
- 両オプションは、ノーマリークローズとノーマリーオープンの空圧式アクチュエータで提供
センサー(オプション)の寸法情報(上の6番目の図面に記載)
バルブの開/閉位置を電気的に監視するポジションセンサーオプションをご用意しています。
注: ポジションセンサーインジケータを使用するにはバルブに取り付けるOmron®センサー(-OM)が必要です。さらに、オムロンのポジションセンサーインジケータ(EE-SX771RまたはEE-SX771A、別売)も必要となります。
材質 | |||
すべての接液部 | PFA | ||
外部アクチュエータ部品 | PVDF、バイトン® | ||
内部アクチュエータ部品 | PVDF、SST、バイトン | ||
取り付け用ベース | PVDF | ||
使用条件1 | |||
最高使用圧力 | 21°C | 入口: 91.3 - 552 kPa | |
出口: 91.3 - 276 kPa | |||
160°C | 入口: 276 kPa | ||
出口: 138 kPa | |||
エア供給圧 | 345 - 552 kPa | ||
温度範囲 | |||
周囲温度 | 23 - 50°C | ||
流体温度 | 21 - 160°C | ||
エア供給ポート | 6.35 mm (1/4")成形メス、ルアーラグ式 | ||
適合規格 | RoHs、WEE |
1実際のバルブ性能は圧力と温度によって異なります。性能データの実際の数値を参照してください。
ソフトウェアのバージョンアップ情報の送付が選択されました
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01-003444
Mounting base for use with all 1/4" 2-way CR4 Series and SG Series valves
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CR4-2UL-RKIT
Repair kit for 1/4" 2-way CR4 Series pneumatic, normally open, Luer valves