EP PFA 手動式 TS サンプリングバルブ
- 半導体およびフラットパネルディスプレイ製造における薬液供給
- 半導体およびフラットパネルディスプレイ製造における高純度、腐食性薬液のハンドリング
仕様書
接続 1 (X) | 接続 2 (サンプル Y) | 接続 3 (Z) | 流量係数 | A | B | C | D | E |
1/2" | 1/2" | 1/2" | 1.1-1.3 Cv | 38.0 mm | 72.3 mm | 201.0 mm | 72.0 mm | 122.0 mm |
3/4" | 1/2" | 3/4" | 1.1-1.3 Cv | 38.0 mm | 72.3 mm | 201.0 mm | 72.0 mm | 128.0 mm |
3/4" | 3/4" | 3/4" | 3.8-4.2 Cv | 38.0 mm | 72.3 mm | 201.0 mm | 70.2 mm | 128.0 mm |
1" | 1/2" | 1" | 1.1-1.3 Cv | 38.0 mm | 72.3 mm | 201.0 mm | 72.0 mm | 152.0 mm |
1" | 3/4" | 1" | 3.8-4.2 Cv | 38.0 mm | 72.3 mm | 201.0 mm | 70.2 mm | 152.0 mm |
1" | 1" | 1" | 6-7 Cv | 38.0 mm | 70.3 mm | 203.3 mm | 80.0 mm | 152.0 mm |
1 1/2" | 1/2" | 1 1/2" | 1.1-1.3 Cv | 52.3 mm | 89.7 mm | 232.6 mm | 72.0 mm | 228.0 mm |
1 1/2" | 3/4" | 1 1/2" | 3.8-4.2 Cv | 52.3 mm | 89.7 mm | 232.6 mm | 70.2 mm | 228.0 mm |
1 1/2" | 1" | 1 1/2" | 6-7 Cv | 52.3 mm | 87.7 mm | 234.9 mm | 80.0 mm | 228.0 mm |
1 1/2" | 1 1/2" | 1 1/2" | 17-23 Cv | 52.3 mm | 117.8 mm | 312.2 mm | 117.5 mm | 228.0 mm |
材質 | 外部アクチュエータ部品 | ガラス充填ポリプロピレン | |
内部アクチュエータ部品 | ポリプロピレン、PVDF、フッ素ゴム、ステンレススチール、銅 | ||
接液部 | PFA、PTFE | ||
最高使用圧力 | 0.68 MPa | ||
最高使用温度 | 65 °C | ||
リーク試験圧力 | 0.82 MPa |
ソフトウェアのバージョンアップ情報の送付が選択されました
型番 | ポート1および3の接続 | サンプルポート接続 | アンモニアのアプリケーションでの使用 |
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PLTSMV-F08-08-08 | 12.7 mm (1/2") EP PFAフレア | 12.7 mm (1/2") EP PFAフレア | なし |
PLTSMV-F08-08-08-H | 12.7 mm (1/2") EP PFAフレア | 12.7 mm (1/2") EP PFAフレア | あり |
PLTSMV-F12-08-12 | 19.05 mm (3/4") EP PFAフレア | 12.7 mm (1/2") EP PFAフレア | なし |
PLTSMV-F12-08-12-H | 19.05 mm (3/4") EP PFAフレア | 12.7 mm (1/2") EP PFAフレア | あり |
PLTSMV-F12-12-12 | 19.05 mm (3/4") EP PFAフレア | 19.05 mm (3/4") EP PFAフレア | なし |
PLTSMV-F12-12-12-H | 19.05 mm (3/4") EP PFAフレア | 19.05 mm (3/4") EP PFAフレア | あり |
PLTSMV-F16-08-16 | 25.4 mm (1") EP PFAフレア | 12.7 mm (1/2") EP PFAフレア | なし |
PLTSMV-F16-08-16-H | 25.4 mm (1") EP PFAフレア | 12.7 mm (1/2") EP PFAフレア | あり |
PLTSMV-F16-12-16-H | 25.4 mm (1") EP PFAフレア | 19.05 mm (3/4") EP PFAフレア | あり |
PLTSMV-F16-16-16 | 25.4 mm (1") EP PFAフレア | 25.4 mm (1") EP PFAフレア | なし |
PLTSMV-F16-16-16-H | 25.4 mm (1") EP PFAフレア | 25.4 mm (1") EP PFAフレア | あり |
PLTSMV-F24-08-24 | 38.1 mm (1 1/2") EP PFAフレア | 12.7 mm (1/2") EP PFAフレア | なし |
PLTSMV-F24-08-24-H | 38.1 mm (1 1/2") EP PFAフレア | 12.7 mm (1/2") EP PFAフレア | あり |
PLTSMV-F24-12-24 | 38.1 mm (1 1/2") EP PFAフレア | 19.05 mm (3/4") EP PFAフレア | なし |
PLTSMV-F24-12-24-H | 38.1 mm (1 1/2") EP PFAフレア | 19.05 mm (3/4") EP PFAフレア | あり |
PLTSMV-F24-16-24 | 38.1 mm (1 1/2") EP PFAフレア | 25.4 mm (1") EP PFAフレア | なし |
PLTSMV-F24-16-24-H | 38.1 mm (1 1/2") EP PFAフレア | 25.4 mm (1") EP PFAフレア | あり |
PLTSMV-F24-24-24 | 38.1 mm (1 1/2") EP PFAフレア | 38.1 mm (1 1/2") EP PFAフレア | なし |