Galtek® SGシリーズ空圧式バルブ、1/4"オリフィス、二方弁、調整式サックバック付き
このバルブの接液部はオールPFA成形で、耐薬品性に優れ、以下のようなアプリケーションのバルブに適しています。
- ウェーハ洗浄
- CMPスラリー制御
- フォトリソグラフィプロセス
- 分析器
仕様書
アクチュエータの設計により、過剰な負荷をかけることなく長期間、高い信頼性でポート間のシール性が確保されます。各バルブは、6.35 mm (1/4")または9.53 mm (3/8") のフレアテック、フレアテック スペースセーバー、ピュアボンド、またはNPTメスのポート接続があります。信頼性の高い業界標準のフレアポート接続により液溜まりが少なく、柔軟なシステム設計が可能になり、取り付けが簡単です。
型番 | 流量係数CV | 流量係数KV | ポート接続 | A寸法 |
SG4-2U-4F-ASB | 0.29 | 4.2 | 6.35 mm (1/4")フレアテック | 85.3 mm |
SG4-2U-4N-ASB | 0.84 | 12.0 | 1/4 NPTメス | 69.8 mm |
SG4-2U-4P-ASB | 0.84 | 12.0 | 1/4"ピュアボンドパイプ | 68.1 mm |
SG4-2U-6F-ASB | 0.84 | 12.0 | 9.53 mm (3/8")フレアテック | 88.9 mm |
温度範囲: | 周囲温度: 23 - 50°C 流体温度: 21 - 100°C |
流体圧力: | |
21°C | 入口: 552 kPa 出口: 276 kPa |
100°C | 入口: 276 kPa 出口: 138 kPa |
エア供給圧: | 335 - 483 kPa |
エア供給ポート | 10-32 UNF |
材質: | 接液部: PFA 外部アクチュエータ部品: PVDF、ステンレススチール製ネジ 内部アクチュエータ部品: PVDF、ステンレススチール、フッ素ゴム 取り付け用ベース: PVDF |
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型番 | 入口 | 出口 |
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SG4-2U-4F-ASB | 6.35 mm (1/4") Flaretek® | 6.35 mm (1/4") Flaretek® |
SG4-2U-6F-ASB | 9.52 mm (3/8") Flaretek® | 9.52 mm (3/8") Flaretek® |