SVシリーズ 空圧式スタックバルブ、三方弁
- 半導体のCMPおよびフラットパネルディスプレイ
- 半導体、LED、およびフラットパネルディスプレイの薬液供給
- 半導体およびLEDのリソグラフィ
- データストレージの基板およびメディアの研磨と洗浄
仕様書
型番 | オリフィス | 流量係数CV | 流量係数KV | ポート接続 |
SV6-3C-6F* | 3/8" | 0.81 | 11.60 | 9.53 mm (3/8")フレアテック |
SV8-3C-8F* | 1/2" | 2.10 | 30.00 | 12.7 mm (1/2")フレアテック |
寸法に関する注記: *型番末尾はナット材質を示し、なし(PVDF)、-3 (PFA)、-6 (CPFA)
型番 | 寸法 | ||||||||||||
A | B | C | D | E | F | G | H | J | K | L | M | N | |
SV6-3C-6F* | 95.5 mm | 29.2 mm | 92.7 mm | 46.7 mm | 24.4 mm | 25.4 mm | 32.5 mm | 30.5 mm | 15.2 mm | 12.7 mm | 40.4 mm | 3.3 mm | 34.8 mm |
SV8-3C-8F* | 117.6 mm | 41.1 mm | 118.1 mm | 55.1 mm | 27.9 mm | 29.7 mm | 48.8 mm | 35.1 mm | 11.4 mm | 15.0 mm | 48.0 mm | 3.6 mm | 44.4 mm |
使用圧力範囲: | 0 - 552 kPa (流体温度21°C、全ポート) 0 - 276 kPa (流体温度100°C、全ポート) |
エア供給圧: | 448 - 552 kPa |
温度範囲: | 周囲温度: 21 - 38°C 流体温度: 21 - 100°C |
エア供給ポート: | 1/8 NPTメス |
材質: | 接液部: PTFE、PFA 外部部品: PTFE、PVDF、ポリエチレン 内部部品: PVDF、フッ素ゴム、ステンレススチール |
ソフトウェアのバージョンアップ情報の送付が選択されました
型番 | ポート接続 | ナットオプション |
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SV6-3C-6F | 9.52 mm (3/8") Flaretek® | PVDF フレアテック ナット |
SV6-3C-6F-3 | 9.52 mm (3/8") Flaretek® | PFA フレアテック ナット |
SV6-3C-6F-6 | 9.52 mm (3/8") Flaretek® | CPFA フレアテック ナット |
SV8-3C-8F | 12.7 mm (1/2") Flaretek® | PVDF フレアテック ナット |
SV8-3C-8F-3 | 12.7 mm (1/2") Flaretek® | PFA フレアテック ナット |
SV8-3C-8F-6 | 12.7 mm (1/2") Flaretek® | CPFA フレアテック ナット |