Azora™ フォトケミカルフィルター
- サブ 10 nm の先端フォトケミカルおよびレジスト溶剤
仕様書
長さ | A | B |
10 インチタイプ | 262.3 mm | 245.0 mm |
20 インチタイプ | 506.6 mm | 489.2 mm |
カートリッジ フィルター |
ディスポーザブル フィルター |
ユースポイント用 フィルター |
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材質: | メンブレン | ポリイミド | ポリイミド | ポリイミド |
サポート、コア、スリーブ、 シェル/ハウジング |
高密度ポリエチレン (HDPE) | 高密度ポリエチレン (HDPE) | 高密度ポリエチレン (HDPE) | |
O リング | 被覆フッ素ゴム (E-FKM) | – | Kalrez® (カルレッツ) | |
接続: | コード 0 (AS568-222) | 6.35 mm (1/4") コンプレッションシール | Impact® 2 (インパクト2) マニホールド | |
膜面積: | 10 インチタイプ:1.01 m² 20 インチタイプ:2.09 m² |
0.22 m² | ショートタイプ:0.12 m² ロングタイプ:0.24 m2 |
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ホールドアップ ボリューム: |
– | 160 mL |
ショートタイプ:55 mL |
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使用条件: | 最高使用圧力 | – | 0.34 MPa @ 25 °C | 0.34 MPa @ 25 °C |
最大許容正/逆差圧 | 0.24 MPa @ 25 °C | 0.27 MPa @ 25 °C | 0.27 MPa @ 25 °C | |
最高使用温度 | 60 °C | 60 °C | 40 °C | |
流量特性: | 圧力損失 | 10 インチタイプ: 2.4 L/min @ 0.02 MPa 20 インチタイプ: 4.5 L/min @ 0.02 MPa |
1.5 L/min @ 0.06 MPa | ショートタイプ: 0.9 L/min @ 0.10 MPa ロングタイプ: 1.8 L/min @ 0.10 MPa |
寸法: | 長さ | 10 インチタイプ、20 インチタイプ | – | – |
胴径 | 70 mm | – | – |
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型番 | 製品タイプ | メンブレン | クリーン度 | 形状 |
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A2M01K1UCX | ユースポイント用ディスポーザブルフィルター | アゾーラ Gen 1 | エクストリーム クリーン | ショートタイプ |
A2M01K1UCXL | ユースポイント用ディスポーザブルフィルター | アゾーラ Gen 1 | エクストリーム クリーン | ロングタイプ |
A2M01K1UCZ | ユースポイント用ディスポーザブルフィルター | アゾーラ Gen 1 | ウルトラクリーン | ショートタイプ |
A2M01K1UCZL | ユースポイント用ディスポーザブルフィルター | アゾーラ Gen 1 | ウルトラクリーン | ロングタイプ |
A2M02K1UCX | ユースポイント用ディスポーザブルフィルター | アゾーラ Gen 2 | エクストリーム クリーン | ショートタイプ |
A2M02K1UCXL | ユースポイント用ディスポーザブルフィルター | アゾーラ Gen 2 | エクストリーム クリーン | ロングタイプ |
A2M02K1UCZ | ユースポイント用ディスポーザブルフィルター | アゾーラ Gen 2 | ウルトラクリーン | ショートタイプ |
A2M02K1UCZL | ユースポイント用ディスポーザブルフィルター | アゾーラ Gen 2 | ウルトラクリーン | ロングタイプ |
AZ0101MTU1 | カートリッジ | アゾーラ Gen 1 | ウルトラクリーン | 10 インチタイプ、φ 70 mm |
AZ0102MTU1 | カートリッジ | アゾーラ Gen 1 | ウルトラクリーン | 20 インチタイプ、φ 70 mm |
AZ010S2S1U1 | ディスポーザブル | アゾーラ Gen 1 | ウルトラクリーン | オプチマイザー D シリーズ |