Intercept® HP / HS フィルター
- 半導体製造 (洗浄・剥離、薬液供給)
- 希釈酸
- 装置の使用点
仕様書
HP | HPX | HPM | HSM | ||
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材質: | メンブレン: | 親水性 超高分子量ポリエチレン (UPE) | 親水性 超高分子量ポリエチレン (UPE) | 親水性 超高分子量ポリエチレン (UPE) | 親水性ポリスルフォン (PS) |
サポート、スリーブ、エンドキャップ、コア | 高密度ポリエチレン不織布 (HDPE) | 高密度ポリエチレン不織布 (HDPE) | 高密度ポリエチレン不織布 (HDPE) | 高密度ポリエチレン不織布 (HDPE) | |
O-リング (カーリッジのみ) | 被覆フッ素ゴム (E-FKM)、カルレッツ4079、または カルレッツ 6375 (サイズ: AS568-222) | 被覆フッ素ゴム (E-FKM)、カルレッツ4079、または カルレッツ 6375 (サイズ: AS568-222) | 被覆フッ素ゴム (E-FKM)、カルレッツ4079、または カルレッツ 6375 (サイズ: AS568-222) | 被覆フッ素ゴム (E-FKM)、カルレッツ4079、または カルレッツ 6375 (サイズ: AS568-222) | |
ハウジング (ケムラインI) | - | - | PFA | PFA | |
ハウジング (ケムラインII) | N/A | ポリプロピレン | ポリプロピレン | ポリプロピレン | |
除粒子径: | 0.05、0.1、0.2 µm | 0.05、0.1、0.2 µm | 10 nm、0.03、0.05 µm | 7、20 nm | |
膜面積: | カートリッジ | 10": 0.85 m2 | 4": 0.5 m2 10": 1.1 m2 20": 2.2 m2 | 10": 1.9 m2 20": 3.8 m2 30": 5.7 m2 | 4": 0.6 m2 10": 1.2 m2 20": 2.4 m2 |
ディスポーザブル | 0.85 m² | 1.1 m2 | 1.9 m2 | 1.2 m2 | |
使用条件: | 最大許容正差圧 | 0.34 MPa @ 25 °C | 0.34 MPa @ 25 °C | 0.34 MPa @ 25 °C | 0.34 MPa @ 25 °C |
最大許容逆差圧 | 0.21 MPa @ 25 °C | 0.21 MPa @ 25 °C | 0.21 MPa @ 25 °C | 0.21 MPa @ 25 °C | |
最高使用温度 | 70°C @ 0.2 MPa | 70°C @ 0.2 MPa | 70°C @ 0.16 MPa | 70°C @ 0.16 MPa |
ソフトウェアのバージョンアップ情報の送付が選択されました
型番 | 形状 | 流量 | メンブレン/メディア | ケムロックキー | 長さ | 除粒子性能 | 接続 | O-リング |
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IHAMC1M01 | カートリッジ | 中 - 高流量 | PS | なし | 10 インチタイプ | 7 nm | N/A | E-FKM |
IHAMC1M01K | カートリッジ | 中 - 高流量 | PS | あり | 10 インチタイプ | 7 nm | N/A | E-FKM |
IHAMC2M01 | カートリッジ | 高流量 | PS | なし | 20 インチタイプ | 7 nm | N/A | E-FKM |
IHAMC2M01K | カートリッジ | 高流量 | PS | あり | 20 インチタイプ | 7 nm | N/A | E-FKM |
IHAV01P01 | カートリッジ | 中流量 | UPE | なし | 10 インチタイプ | 0.1 µm | N/A | E-FKM |
IHAV01P01K | カートリッジ | 中流量 | UPE | あり | 10 インチタイプ | 0.1 µm | N/A | E-FKM |
IHAV01PLT | カートリッジ | 低流量 | UPE | なし | 10 インチタイプ | 0.1 µm | N/A | E-FKM |
IHAV01PLTK | カートリッジ | 低流量 | UPE | あり | 10 インチタイプ | 0.1 µm | N/A | E-FKM |
IHAV02P01K | カートリッジ | 中 - 高流量 | UPE | あり | 20 インチタイプ | 0.1 µm | N/A | E-FKM |
IHAX01M01 | カートリッジ | 中 - 高流量 | PS | なし | 10 インチタイプ | 20 nm | N/A | E-FKM |
IHAX01M01K | カートリッジ | 中 - 高流量 | PS | あり | 10 インチタイプ | 20 nm | N/A | E-FKM |
IHAX02MK1K | カートリッジ | 高流量 | PS | あり | 20 インチタイプ | 20 nm | N/A | Kalrez® 4079 |
IHAY01M01 | カートリッジ | 中 - 高流量 | UPE | なし | 10 インチタイプ | 30 nm | N/A | E-FKM |
IHAY01M01K | カートリッジ | 中 - 高流量 | UPE | あり | 10 インチタイプ | 30 nm | N/A | E-FKM |
IHAZ01M01 | カートリッジ | 中 - 高流量 | UPE | なし | 10 インチタイプ | 0.05 µm | N/A | E-FKM |
IHAZ01M01K | カートリッジ | 中 - 高流量 | UPE | あり | 10 インチタイプ | 0.05 µm | N/A | E-FKM |
IHAZ01P01 | カートリッジ | 中流量 | UPE | なし | 10 インチタイプ | 0.05 µm | N/A | E-FKM |
IHAZ01P01K | カートリッジ | 中流量 | UPE | あり | 10 インチタイプ | 0.05 µm | N/A | E-FKM |
IHAZ01PLK | カートリッジ | 低流量 | UPE | なし | 10 インチタイプ | 0.05 µm | N/A | Kalrez® 4079 |
IHAZ01PLT | カートリッジ | 低流量 | UPE | なし | 10 インチタイプ | 0.05 µm | N/A | E-FKM |
IHAZ01PLTK | カートリッジ | 低流量 | UPE | あり | 10 インチタイプ | 0.05 µm | N/A | E-FKM |
IHAZ02P01 | カートリッジ | 高流量 | UPE | なし | 20 インチタイプ | 0.05 µm | N/A | E-FKM |
IHAZ02P01K | カートリッジ | 高流量 | UPE | あり | 20 インチタイプ | 0.05 µm | N/A | E-FKM |
IHAZ0SP01 | カートリッジ | 低流量 | UPE | なし | 4" | 0.05 µm | N/A | E-FKM |
IHDMCSM4F | Chem-Line™ IIラージディスポーザブル | 中 - 高流量 | PS | N/A | 10 インチタイプ | 7 nm | — | N/A |
IHDVHPS1F | Chem-Line™ IIラージディスポーザブル | 低流量 | UPE | N/A | 4" | 0.1 µm | 入口/出口9.52 mm (3/8")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、Flaretek®継手 | N/A |
IHDVHPX0F | Chem-Line™ IIラージディスポーザブル | 中流量 | UPE | N/A | 10 インチタイプ | 0.1 µm | 入口/出口19.05 mm (3/4")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、Flaretek®継手 | N/A |
IHDXHSM4F | Chem-Line™ IIラージディスポーザブル | 中 - 高流量 | PS | N/A | 10 インチタイプ | 20 nm | — | N/A |
IHDXHSS1F | Chem-Line™ IIラージディスポーザブル | 低流量 | PS | N/A | 4" | 20 nm | 入口/出口9.52 mm (3/8")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、Flaretek®継手 | N/A |
IHDXHSS2F | Chem-Line™ IIラージディスポーザブル | 低流量 | PS | N/A | 4" | 20 nm | 入口/出口12.7 mm (1/2")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、Flaretek®継手 | N/A |
IHDYHPS1F | Chem-Line™ IIラージディスポーザブル | 低流量 | UPE | N/A | 4" | 30 nm | 入口/出口9.52 mm (3/8")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、Flaretek®継手 | N/A |
IHDZHPM0F | Chem-Line™ IIラージディスポーザブル | 高流量 | UPE | N/A | 10 インチタイプ | 0.05 µm | 入口/出口19.05 mm (3/4")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、Flaretek®継手 | N/A |
IHDZHPM4F | Chem-Line™ IIラージディスポーザブル | 高流量 | UPE | N/A | 10 インチタイプ | 0.05 µm | — | N/A |
IHDZHPS1F | Chem-Line™ IIラージディスポーザブル | 低流量 | UPE | N/A | 4" | 0.05 µm | 入口/出口9.52 mm (3/8")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、Flaretek®継手 | N/A |
IHDZHPS2F | Chem-Line™ IIラージディスポーザブル | 低流量 | UPE | N/A | 4" | 0.05 µm | インラインオス、入口/出口12.7 mm (1/2")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、Flaretek® | N/A |
IHDZHPX0F | Chem-Line™ IIラージディスポーザブル | 中流量 | UPE | N/A | 10 インチタイプ | 0.05 µm | 入口/出口19.05 mm (3/4")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、Flaretek®継手 | N/A |
IHDZHPX2F | Chem-Line™ IIラージディスポーザブル | 中流量 | UPE | N/A | 10 インチタイプ | 0.05 µm | 入口/出口12.7 mm (1/2")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、Flaretek®継手 | N/A |
IHLMCSM0P3PM | Chem-Line™ IIラージディスポーザブル | 中 - 高流量 | PS | N/A | 10 インチタイプ | 7 nm | 入口/出口19.05 mm (3/4")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、スーパー300タイプPillar®継手 | N/A |
IHLMCSM4P3PM | Chem-Line™ IIラージディスポーザブル | 中 - 高流量 | PS | N/A | 10 インチタイプ | 7 nm | 入口/出口25.4 mm (1")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、スーパー300タイプPillar®継手 | N/A |
IHPXHSM3S | Chem-Line™ Iラージディスポーザブル | 中 - 高流量 | PS | N/A | 10 インチタイプ | 20 nm | 入口/出口19.05 mm (3/4")、ベント/ドレン12.7 mm (1/2")、スーパー300タイプPillar®継手 | N/A |
IHPXHSM4S | Chem-Line™ Iラージディスポーザブル | 高流量 | PS | N/A | 10 インチタイプ | 20 nm | 入口/出口25.4 mm (1")、ベント/ドレン12.7 mm (1/2")、スーパー300タイプPillar®継手 | N/A |
IHPYHPM4S | Chem-Line™ Iラージディスポーザブル | 高流量 | UPE | N/A | 10 インチタイプ | 30 nm | 入口/出口25.4 mm (1")、ベント/ドレン12.7 mm (1/2")、スーパー300タイプPillar®継手 | N/A |
IHPZHPM3S | Chem-Line™ Iラージディスポーザブル | 高流量 | UPE | N/A | 10 インチタイプ | 0.05 µm | 入口/出口19.05 mm (3/4")、ベント/ドレン12.7 mm (1/2")、スーパー300タイプPillar®継手 | N/A |