Microgard™ Plus / Plus LE / LEナイロン フィルター
- 産業: 半導体、薬液製造、データストレージ
- プロセス: フォトリソグラフィ、施設、ウェーハの洗浄・剥離、メディア
- 潤滑油、薬液製造
- 薬液: フォトレジスト、フォトケミカル、溶剤
- 設置ポイント: バルク
仕様書
マイクロガード Plus | マイクロガード Plus LE | マイクロガード LE ナイロン | ||
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材質: | メンブレン | 超高分子量ポリエチレン (UPE) | 超高分子量ポリエチレン (UPE) | ポリアミド |
メンブレン構造 | 対称 (Symmetric) | 非対称 (Asymmetric) | 非対称 (Asymmetric) | |
サポート、コア、スリーブ | HDPE | HDPE | HDPE | |
O-リング | UPE (胴径70mm): 被覆フッ素ゴム (E-FKM) または EPDM UPX (胴径83mm): E-FKM、カルレッツ、またはパーフロ | E-FKM | E-FKM | |
キー (ケムロックキー付きのみ) | PFA | PFA | PFA | |
除粒子径: | 10、20 nm、30 nm (0.03 µm)、0.05、0.1、0.2 µm | 3、5、10 nm | 10、20 nm、0.05 µm | |
膜面積: | 胴径 70 mm | 10、20、30 nm (0.03 µm) 10": 1.18 m2、20": 2.36 m2、30": 3.54 m2 0.05、0.1、0.2 µm 10": 0.86 m2、20": 1.72 m2、30": 2.59 m2 | 10": 1.31 m2、20": 2.62 m2、30": 3.94 m2 | 10": 0.71 m2、20": 1.42 m2、30": 2.13 m2 |
胴径 83 mm | 10、20、30 nm (0.03 µm) 4": 0.79 m2、10": 1.88 m2 0.05、0.1、0.2 µm 10": 1.11 m2 | 10": 1.88 m2 | 10、20 nm 10": 1.31 m2 | |
使用条件: | 最大許容正差圧: | 0.34 MPa @ 25 °C | 0.34 MPa @ 25 °C | 0.28 MPa @ 25 °C |
最大許容逆差圧: | 0.24 MPa @ 25 °C | 0.24 MPa @ 25 °C | 0.21 MPa @ 25 °C | |
使用温度 | 60 °C | 60 °C | 60 °C |
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