Optimizer® DI フィルター
- 産業: 半導体(フォトリソグラフィ)
- 薬液: フォトケミカル、溶剤
- 設置ポイント: 装置内
仕様書
材質 | メンブレン: | 親水性UPE | |
サポート、コア、スリーブ: | HDPE | ||
ハウジング: | PP | ||
膜面積 | DI | 1800 cm² | |
DI-L | 3600 cm² | ||
DI-L (20 nm) | 2100 cm² | ||
除粒子孔径 | DI、DI-L | 20 nm、0.05、0.1、0.2 µm | |
継手 | スーパータイプPillar®、コンプレッションシール(Swagelok®互換の継手)、Flaretek®など、幅広い継手がご使用いただけます。 | ||
使用条件 | 最高入口側圧力 | 0.345 MPa @ 25°C | |
最大許容正差圧/逆差圧 | 0.345 MPa @ 25°C | ||
0.28 MPa (2.8 kg/cm²) @ 25°C | |||
使用温度 | 60°C | ||
インテグリスは、最適なろ過性能を確保するために、少なくとも1年に1回はフィルターを交換することをお勧めします。 定期的な交換は、過度の使用から生じる化学物質の漏れの可能性を減らします。 インテグリスの標準保証期間は出荷日から1年です。 |
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型番 | リソグラフィ技術 | 長さ | 除粒子性能 | 接続 |
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CBUG0S0F1 | KrF | ショートカプセル | 0.2 µm | 入口/出口6.35 mm (1/4")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、Flaretek®継手 |
CBUG0S0P1 | KrF | ショートカプセル | 0.2 µm | 入口/出口6.35 mm (1/4")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、スーパータイプPillar®継手 |
CBUG0S0S1 | KrF | ショートカプセル | 0.2 µm | 入口/出口6.35 mm (1/4")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、コンプレッション継手 |
CBUG2L0P1 | KrF | ロングカプセル | 0.2 µm | 入口/出口12.7 mm (1/2")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、スーパータイプPillar®継手 |
CBUG3L0P1 | KrF | ロングカプセル | 0.2 µm | 入口/出口9.52 mm (3/8")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、スーパータイプPillar®継手 |
CBUG3L0S1 | KrF | ロングカプセル | 0.2 µm | 入口/出口9.52 mm (3/8")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、コンプレッション継手 |
CBUG6S0P1 | KrF | ショートカプセル | 0.2 µm | 入口/出口6 mm、ベント/ドレン4 mm、スーパータイプPillar®継手 |
CBUG8L0P1 | KrF | ロングカプセル | 0.2 µm | 入口/出口8 mm、ベント/ドレン4 mm、スーパータイプPillar®継手 |
CBUG8S0P1 | KrF | ショートカプセル | 0.2 µm | 入口/出口8 mm、ベント/ドレン4 mm、スーパータイプPillar®継手 |
CBUV0L0P1 | KrF | ロングカプセル | 0.1 µm | 入口/出口6.35 mm (1/4")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、スーパータイプPillar®継手 |
CBUV0L0S1 | KrF | ロングカプセル | 0.1 µm | 入口/出口6.35 mm (1/4")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、コンプレッション継手 |
CBUV0S0F1 | KrF | ショートカプセル | 0.1 µm | 入口/出口6.35 mm (1/4")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、Flaretek®継手 |
CBUV0S0P1 | KrF | ショートカプセル | 0.1 µm | 入口/出口6.35 mm (1/4")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、スーパータイプPillar®継手 |
CBUV0S0S1 | KrF | ショートカプセル | 0.1 µm | 入口/出口6.35 mm (1/4")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、コンプレッション継手 |
CBUV2L0P1 | KrF | ショートカプセル | 0.1 µm | 入口/出口12.7 mm (1/2")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、スーパータイプPillar®継手 |
CBUV3L0F1 | KrF | ショートカプセル | 0.1 µm | 入口/出口9.52 mm (3/8")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、Flaretek®継手 |
CBUV3L0P1 | KrF | ロングカプセル | 0.1 µm | 入口/出口9.52 mm (3/8")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、スーパータイプPillar®継手 |
CBUV3L0S1 | KrF | ロングカプセル | 0.1 µm | 入口/出口9.52 mm (3/8")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、コンプレッション継手 |
CBUV3S0P1 | KrF | ショートカプセル | 0.1 µm | 入口/出口9.52 mm (3/8")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、スーパータイプPillar®継手 |
CBUV6S0P1 | KrF | ショートカプセル | 0.1 µm | 入口/出口6 mm、ベント/ドレン4 mm、スーパータイプPillar®継手 |
CBUV8L0P1 | KrF | ロングカプセル | 0.1 µm | 入口/出口8 mm、ベント/ドレン4 mm、スーパータイプPillar®継手 |
CBUV8S0P1 | KrF | ショートカプセル | 0.1 µm | 入口/出口8 mm、ベント/ドレン4 mm、スーパータイプPillar®継手 |
CBUX3L0P1 | ArF | ロングカプセル | 20 nm | 入口/出口9.52 mm (3/8")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、スーパータイプPillar®継手 |
CBUX8L0P1 | ArF | ロングカプセル | 20 nm | 入口/出口8 mm、ベント/ドレン4 mm、スーパータイプPillar®継手 |
CBUX8S0P1 | ArF | ショートカプセル | 20 nm | 入口/出口8 mm、ベント/ドレン4 mm、スーパータイプPillar®継手 |
CBUZ0L0S1 | KrF | ロングカプセル | 0.05 µm | 入口/出口6.35 mm (1/4")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、コンプレッション継手 |
CBUZ0S0F1 | KrF | ショートカプセル | 0.05 µm | 入口/出口6.35 mm (1/4")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、Flaretek®継手 |
CBUZ0S0P1 | KrF | ショートカプセル | 0.05 µm | 入口/出口6.35 mm (1/4")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、スーパータイプPillar®継手 |
CBUZ0S0S1 | KrF | ショートカプセル | 0.05 µm | 入口/出口6.35 mm (1/4")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、コンプレッション継手 |
CBUZ2L0P1 | KrF | ロングカプセル | 0.05 µm | 入口/出口12.7 mm (1/2")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、スーパータイプPillar®継手 |
CBUZ3L0F1 | KrF | ロングカプセル | 0.05 µm | 入口/出口9.52 mm (3/8")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、Flaretek®継手 |
CBUZ3L0P1 | KrF | ロングカプセル | 0.05 µm | 入口/出口9.52 mm (3/8")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、スーパータイプPillar®継手 |
CBUZ3L0S1 | KrF | ロングカプセル | 0.05 µm | 入口/出口9.52 mm (3/8")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、コンプレッション継手 |
CBUZ3L0X1 | KrF | ロングカプセル | 0.05 µm | — |
CBUZ6S0P1 | KrF | ショートカプセル | 0.05 µm | 入口/出口6 mm、ベント/ドレン4 mm、スーパータイプPillar®継手 |
CBUZ8L0P1 | KrF | ロングカプセル | 0.05 µm | 入口/出口8 mm、ベント/ドレン4 mm、スーパータイプPillar®継手 |
CBUZ8S0P1 | KrF | ショートカプセル | 0.05 µm | 入口/出口8 mm、ベント/ドレン4 mm、スーパータイプPillar®継手 |