Planarcap® KPX フィルター
- 半導体製造
- CMPプロセス
- スラリー
- 使用点
仕様書
材質: | メディア: ポリプロピレン コア、ケージ、シェル: ポリプロピレン |
接続: | 入口/出口 6.35 mm (1/4") フレア - ベント/ドレン 3/8 NPTオス 入口/出口 9.52mm (3/8") フレア - ベント/ドレン 6.35 mm (1/4") フレア |
寸法: | 全長 ショート 152 mm、ロング 208 mm 胴径 68 mm |
使用条件: | 最高使用圧力: 0.27 MPa @ 25°C 最大許容正差圧/逆差圧: 0.27 MPa @ 20°C 最高使用温度: 40°C |
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型番 | 長さ | 除粒子性能 | 接続 |
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PCK010L2F | 5 インチタイプ | 1 µm | 入口/出口6.35 mm (1/4")フレア、ベント/ドレン3.18 mm (1/8") NPTオス |
PCK010L3F | 5 インチタイプ | 1 µm | 入口/出口9.52 mm (3/8")フレア、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")フレア |
PCK010S2F | ショート (2.5 インチ) タイプ | 1 µm | 入口/出口6.35 mm (1/4")フレア、ベント/ドレン3.18 mm (1/8") NPTオス |
PCK015L3F | 5 インチタイプ | 1.5 µm | 入口/出口9.52 mm (3/8")フレア、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")フレア |
PCK015S2F | ショート (2.5 インチ) タイプ | 1.5 µm | 入口/出口6.35 mm (1/4")フレア、ベント/ドレン3.18 mm (1/8") NPTオス |