ガス供給用シリンダーシステム
- 2.5 L
- 7.6 L
- AsH3
- 濃縮BF3
- 天然BF3
- PH3
- 負圧で保管、供給(SAGSタイプI)
- 半導体
- 0.44 L
- 2.2 L
- 6.6 L
- AsH3
- 濃縮11BF3
- 濃縮72GeF4
- 濃縮プラス72GeF4
- 負圧で保管、供給(SAGSタイプI)
- 半導体
- 17 L
- 50 L
- AsH3
- PH3
- 負圧で保管、供給(SAGSタイプI)
- 半導体
- フラットパネルディスプレイ
- 太陽電池
- 6.6 L
- 50 L
- 濃縮11BF3
- 正圧で供給 @ 100 psig
- フラットパネルディスプレイ
- 50 L
- 天然BF3
- 濃縮11BF3
- 負圧で供給(SAGSタイプII)
- 半導体
- フラットパネルディスプレイ
- 16 L
- 49 L
- PH3
- 負圧で保管、供給(SAGSタイプI)
- 半導体