特殊ガス
- AsH3
- 0.44 L
- 6.6 L
- 2.2 L
- 2.5 L
- 負圧で保管、供給(SAGSタイプI)
- フラットパネルディスプレイ
- 半導体
- 太陽電池
- PH3
- 2.2 L
- 0.44 L
- 2.5 L
- 6.6 L
- 負圧で保管、供給(SAGSタイプI)
- 半導体
- フラットパネルディスプレイ
- 太陽電池
- BF3
- 2.2 L
- 2.5 L
- 6.6 L
- 7.6 L
- 負圧で保管、供給(SAGSタイプI)
- 負圧で供給(SAGSタイプII)
- 半導体
- フラットパネルディスプレイ
- 濃縮BF3
- 0.44 L
- 2.5 L
- 2.2 L
- 6.6 L
- 負圧で保管、供給(SAGSタイプI)
- 負圧で供給(SAGSタイプII)
- 正圧で供給 @ 100 psig
- 半導体
- 濃縮72BF4
- 0.44 L
- 2.2 L
- 負圧で保管、供給(SAGSタイプI)
- 負圧で供給(SAGSタイプII)
- 半導体
- 濃縮プラス72BF4
- 0.44 L
- 2.2 L
- 負圧で供給(SAGSタイプII)
- 半導体