M200 用メンテナンスキットおよびアクセサリ
部品交換により、M200 ウェーハ SMIF ポッドを長くご使用いただけます。
- ガスケットおよびウェーハリテーナー
- エルゴハンドル
- カセットホールドダウン
仕様書
M200 ウェーハ SMIF ポッド用 交換部品
型番 | 製品の種類 | 内容 |
CM200-0911 | 汎用ホールドダウンキット | スプリング (洗浄品): 50 個 |
M200-0961 | 小型ホールドダウンキット | スプリング (洗浄品): 50 個 |
M200-5510 | ドアキット | ドア アッセンブリー 1 セット:ワイドガイド、ドア用ガスケット (M200-0253、洗浄品) |
M200-5510R | ドアキット | ドア アッセンブリー 1 セット:ワイドガイド、M200-5510 の平坦性改良型ドア、ガスケット (M200-0253、洗浄品) |
M200-5516 | ドアキット | ドア アッセンブリー 1 セット:ワイドガイド、特殊キーホール仕様、ガスケット (M200-0252、洗浄品) |
M200-5570 | ドアキット | ドア アッセンブリー 1 セット:ナローガイド、ドア用ガスケット (M200-0252、洗浄品) |
M200-5575 | ドアキット | ドア アッセンブリー 1 セット:ステップガイド、ドア用ガスケット (M200-0253、洗浄品) |
CM200-0252 | ドア用ガスケット | ドア用ガスケット 1 個: 白色 TPE 製 (M200-0252、洗浄品) |
CM200-0253 | ドア用ガスケット | ドア用ガスケット 1 個: 白色 TPE 製 (M200-0253、洗浄品) |
CM200-05* | エルゴハンドル キット | ハンドルキット 10 個 (洗浄品) |
CM200-0109 | ウェーハリテーナーキット | 50 組 (50 個 x2 (左右)): 6 インチからのアップグレード用 第 1 世代ウェーハリテーナーブレード (左右、洗浄品)、ポリカーボネート製 |
CM200-0112 | ウェーハリテーナーキット | 100 個: 8 インチ用 第 1 世代ウェーハリテーナーブレード (洗浄品)、ポリカーボネート製 |
CM200-092X | ウェーハリテーナー交換キット | 1 セット: 8 インチ用、褐色、PEEK 製、第 3 世代ウェーハリテーナーおよびカム (左右、洗浄品) |
CM200-092XM | ウェーハリテーナー交換キット | 1 セット: 8 インチ用、黒色、PEEK 製、第 3 世代改良型ウェーハリテーナーおよびカム (左右、洗浄品) |
M200-0808S | AK ハンドルキット |
100 セット: SEMI E47 AK に準拠したハンドルとネジ |
* は、ハンドルの色のオプション 00、03、04、06、07、10 を表します。
ソフトウェアのバージョンアップ情報の送付が選択されました
型番 | 製品タイプ | ガスケットのタイプ | ハンドルの色 | ウェーハリテーナーのタイプ | カセットクリップ | Cassette Interface | Fab Interface |
---|---|---|---|---|---|---|---|
CM200-0112 | Wafer Retainer Kit | N/A | N/A | 第1世代8" | N/A | N/A | N/A |
CM200-0253 | Door Seal Kit | M200-0253 | N/A | N/A | N/A | N/A | N/A |
CM200-0500 | Ergo Handle Kit | N/A | Black | N/A | N/A | N/A | N/A |
CM200-0506 | Ergo Handle Kit | N/A | Yellow | N/A | N/A | N/A | N/A |
CM200-0507 | Ergo Handle Kit | N/A | Green | N/A | N/A | N/A | N/A |
CM200-0911 | Cassette Hold Down Kit | N/A | N/A | N/A | 汎用 | N/A | N/A |
CM200-092X | Wafer Retainer Retrofit Kit | N/A | N/A | 第3世代 | N/A | N/A | N/A |
CM200-092XM | Wafer Retainer Retrofit Kit | N/A | N/A | 8" Black PEEK™ Spring (G3-M) | N/A | N/A | N/A |
M200-0808S | Autokinetic (AK) Handle Kit | N/A | Black | N/A | N/A | N/A | N/A |
M200-5510 | Door Kit | N/A | N/A | N/A | N/A | Wide guide | Standard |
M200-5510R | Door Kit | N/A | N/A | N/A | N/A | Wide guide | Reduced door cover recess |
M200-5516 | Door Kit | N/A | N/A | N/A | N/A | Wide guide | BEOL key hole |