Planarcore® PVAブラシ
- CMP後洗浄
仕様書
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型番 | 防腐剤 | OEM装置 | プロセスプラットフォーム |
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PVP0AMMR1 | NH4OH | アプライドマテリアルズMirra Mesa® | 200 mm |
PVP0EF3R1 | NH4OH | 荏原製作所F-REX300 | 300 mm |
PVP0L0BR4 | NH4OH | ラムリサーチOnTrak® Synergy Integra™ | 200 mm |
PVP0L0TR4 | NH4OH | ラムリサーチOnTrak®シリーズ | 200 mm |
PVP1AMMR1 | H2O2 | アプライドマテリアルズMirra Mesa® | 200 mm |
PVP1ARXR1 | H2O2 | アプライドマテリアルズReflexion® | 300 mm |
PVP1EF3R1 | H2O2 | 荏原製作所F-REX300 | 300 mm |
PVP1L0BR4 | H2O2 | ラムリサーチOnTrak® Synergy Integra™ | 200 mm |
PVP1L0TR4 | H2O2 | ラムリサーチOnTrak®シリーズ | 200 mm |